FZ CZ Si վաֆլի պահեստում 12 դյույմանոց սիլիկոնային վաֆլի Prime or Test
Վաֆլի տուփի ներկայացում
Ողորկ վաֆլիներ
Սիլիկոնային վաֆլիներ, որոնք հատուկ փայլեցված են երկու կողմից՝ հայելու մակերես ստանալու համար:Բարձրագույն հատկանիշները, ինչպիսիք են մաքրությունը և հարթությունը, սահմանում են այս վաֆլի լավագույն բնութագրերը:
Սիլիկոնային վաֆլիներ չդոպված
Նրանք նաև հայտնի են որպես ներքին սիլիկոնային վաֆլիներ:Այս կիսահաղորդիչը սիլիցիումի մաքուր բյուրեղային ձև է՝ առանց վաֆլի ամբողջ տարածքում որևէ ներծծող նյութի առկայության, դրանով իսկ դարձնելով այն իդեալական և կատարյալ կիսահաղորդիչ:
Դոպված սիլիկոնային վաֆլիներ
N-տիպը և P-տիպը սիլիկոնային սիլիկոնային վաֆլիների երկու տեսակներն են:
N տիպի սիլիցիումային վաֆլիները պարունակում են մկնդեղ կամ ֆոսֆոր:Այն լայնորեն օգտագործվում է առաջադեմ CMOS սարքերի արտադրության մեջ:
Բորով պատված P-տիպի սիլիկոնային վաֆլիներ:Հիմնականում այն օգտագործվում է տպագիր սխեմաներ կամ ֆոտոլիտոգրաֆիա պատրաստելու համար։
Epitaxial վաֆլիներ
Epitaxial վաֆլիները սովորական վաֆլիներ են, որոնք օգտագործվում են մակերեսի ամբողջականություն ստանալու համար:Epitaxial վաֆլիները հասանելի են հաստ և բարակ վաֆլիներով:
Բազմաշերտ էպիտաքսիալ վաֆլիները և հաստ էպիտաքսիալ վաֆլիները նույնպես օգտագործվում են էներգիայի սպառումը կարգավորելու և սարքերի էներգիայի վերահսկման համար:
Բարակ էպիտաքսիալ վաֆլիները սովորաբար օգտագործվում են բարձրակարգ MOS գործիքներում:
SOI վաֆլիներ
Այս վաֆլիները օգտագործվում են մեկ բյուրեղյա սիլիցիումի նուրբ շերտերը ամբողջ սիլիկոնային վաֆլիից էլեկտրական մեկուսացման համար:SOI վաֆլիները սովորաբար օգտագործվում են սիլիցիումային ֆոտոնիկայի և բարձր արդյունավետությամբ ՌԴ կիրառություններում:SOI վաֆլիները օգտագործվում են նաև միկրոէլեկտրոնային սարքերում մակաբույծ սարքերի հզորությունը նվազեցնելու համար, ինչը նպաստում է կատարողականի բարելավմանը:
Ինչու է վաֆլի արտադրությունը դժվար:
12 դյույմանոց սիլիկոնային վաֆլիները շատ դժվար է կտրատել՝ բերքատվության տեսանկյունից:Չնայած սիլիցիումը կոշտ է, այն նաև փխրուն է։Կոպիտ տարածքներ են ստեղծվում, քանի որ սղոցված վաֆլի եզրերը հակված են կոտրվել:Ադամանդե սկավառակներն օգտագործվում են վաֆլի եզրերը հարթելու և վնասը վերացնելու համար:Կտրելուց հետո վաֆլիները հեշտությամբ կոտրվում են, քանի որ այժմ ունեն սուր եզրեր:Վաֆլի եզրերը նախագծված են այնպես, որ փխրուն, սուր եզրերը վերանան և սայթաքելու հնարավորությունը նվազեցվի:Եզրերի ձևավորման գործողության արդյունքում վաֆլի տրամագիծը ճշգրտվում է, վաֆլի կլորացվում է (կտրատելուց հետո կտրված վաֆլը օվալաձև է) և պատրաստվում կամ չափվում են խազեր կամ կողմնորոշված հարթություններ։