Տիտանի ներծծված շափյուղա բյուրեղյա լազերային ձողերի մակերեսային մշակման մեթոդ

Տիտանի թանկարժեք քարերի բյուրեղները Ti:Al2O3 (դոպինգի կոնցենտրացիան 0.35 wt% Ti2O3), որոնց բյուրեղային բլանկները ըստ սույն գյուտի տիտանի թանկարժեք քարերի բյուրեղյա լազերային ձողի մակերևութային մշակման մեթոդի գործընթացի հոսքի դիագրամի ներկայացված են Նկ. 1-ում: Սույն գյուտի տիտանի թանկարժեք քարերի բյուրեղյա լազերային ձողի մակերեսային մշակման մեթոդի պատրաստման հատուկ քայլերը հետևյալն են.

<1> Կողմնորոշման կտրում. տիտանի թանկարժեք քարի բյուրեղը սկզբում կողմնորոշվում է, այնուհետև կտրվում է քառանկյուն սյունաձև դատարկության մեջ՝ թողնելով մշակման թույլտվություն մոտ 0,4-ից 0,6 մմ՝ լրացված լազերային ձողի չափին համապատասխան:

<2>Սյունակի կոպիտ և նուրբ հղկում. սյունակի դատարկը մանրացված է քառանկյուն կամ գլանաձև խաչմերուկի մեջ 120~180# սիլիցիումի կարբիդի կամ բորի կարբիդի հղկանյութերով կոպիտ հղկման մեքենայի վրա, կոշտ հղկման և կլորացման սխալով: ±0.01 մմ:

<3> Վերջնական դեմքի մշակում. տիտանական թանկարժեք քարերի լազերային բարակ երկու ծայրի երեսի հաջորդական մշակում W40, W20, W10 բորային կարբիդով հղկվող վերջավոր դեմքով պողպատե սկավառակի վրա:Հղկման գործընթացում պետք է ուշադրություն դարձնել ծայրամասի ուղղահայացության չափմանը:

<4> Քիմիական-մեխանիկական փայլեցում. քիմիական-մեխանիկական փայլեցումը փայլեցնող բարձիկի վրա բյուրեղների փայլեցման գործընթացն է նախապես մշակված քիմիական փորագրման լուծույթի կաթիլներով:Ողորկում է աշխատանքային մասը և փայլեցնող բարձիկը հարաբերական շարժման և շփման համար, մինչդեռ հետազոտական ​​ցեխի մեջ պարունակում է քիմիական փորագրող նյութ (կոչվում է փայլեցնող հեղուկ), որպեսզի ավարտվի փայլեցումը օգնությամբ:

<5> Թթվային փորագրում. Տիտանի թանկարժեք քարերի ձողերը փայլեցնելուց հետո, ինչպես նկարագրված է վերը, դրվում են H2SO4:H3PO4 = 3:1 (v/v) խառնուրդի մեջ 100-400°C ջերմաստիճանում և թթվային փորագրվում են 5 անգամ: -30 րոպե.Նպատակն է հեռացնել փայլեցման գործընթացը լազերային բարի մակերևույթի վրա, որը առաջացել է մեխանիկական ենթամակերևույթի վնասման հետևանքով, և հեռացնել մի շարք բծեր, որպեսզի ստանանք մաքուր մակերեսի հարթ և հարթ, վանդակավոր ամբողջականության ատոմային մակարդակ։ .

<6> ՄԵՐԿԵՍՈՒԹՅԱՆ ՋԵՐՄԱՅԻՆ ԲՈՒԺՈՒՄ. Նախորդ գործընթացի հետևանքով առաջացած մակերևույթի լարումները և քերծվածքները հետագայում վերացնելու և ատոմային մակարդակում հարթեցված մակերես ստանալու համար, թթվային փորագրումից հետո տիտանային թանկարժեք ձողը 5 րոպե ողողվեց դեոնացված ջրով: իսկ տիտանի թանկարժեք ձողը տեղադրվել է 1360±20°C միջավայրում 1-ից 3 ժամ հաստատուն ջերմաստիճանում ջրածնի մթնոլորտում և ենթարկվել մակերևութային ջերմային մշակման: