Սիլիցիումի երկօքսիդի վաֆլի SiO2 վաֆլի հաստ փայլեցված, Prime And Test Grade

Սիլիցիումի երկօքսիդի վաֆլի SiO2 վաֆլի հաստ փայլեցված, հիմնական և փորձնական աստիճանի ընդգծված պատկեր

Կարճ նկարագրություն:

Ջերմային օքսիդացումը սիլիցիումի վաֆլի օքսիդացնող նյութերի և ջերմության համակցման հետևանքն է՝ սիլիցիումի երկօքսիդի (SiO2) շերտ ստեղծելու համար: Մեր ընկերությունը կարող է տարբեր պարամետրերով պատվիրել հաճախորդների համար՝ գերազանց որակով;Օքսիդային շերտի հաստությունը, կոմպակտությունը, միատեսակությունը և դիմադրողականությունը բյուրեղային կողմնորոշումն իրականացվում է ազգային ստանդարտներին համապատասխան:

Նամակ ուղարկեք մեզ

Ապրանքի մանրամասն

Ապրանքի պիտակներ

Վաֆլի տուփի ներկայացում

Ապրանք	Ջերմային օքսիդ (Si+SiO2) վաֆլիներ
Արտադրության մեթոդ	LPCVD
Մակերեւույթի փայլեցում	SSP/DSP
Տրամագիծը	2 դյույմ / 3 դյույմ / 4 դյույմ / 5 դյույմ / 6 դյույմ
Տիպ	P տեսակ / N տեսակ
Օքսիդացնող շերտի հաստություն	100 նմ ~ 1000 նմ
Կողմնորոշում	<100> <111>
Էլեկտրական դիմադրողականություն	0,001-25000 (Ω•սմ)
Դիմում	Օգտագործվում է սինքրոտրոնային ճառագայթման նմուշի կրիչի, PVD/CVD ծածկույթի համար որպես ենթաշերտ, մագնետրոնային ցրման աճի նմուշ, XRD, SEM,Ատոմային ուժ, ինֆրակարմիր սպեկտրոսկոպիա, ֆլյուորեսցենտային սպեկտրոսկոպիա և այլ անալիզի փորձարկման ենթաշերտեր, մոլեկուլային ճառագայթների էպիտաքսիալ աճի սուբստրատներ, բյուրեղային կիսահաղորդիչների ռենտգենյան վերլուծություն

Սիլիցիումի օքսիդի վաֆլիները սիլիցիումի երկօքսիդի թաղանթներ են, որոնք աճում են սիլիցիումային վաֆլիների մակերեսին թթվածնի կամ ջրային գոլորշու միջոցով բարձր ջերմաստիճաններում (800°C~1150°C) ջերմային օքսիդացման գործընթացի միջոցով մթնոլորտային ճնշման վառարանի խողովակային սարքավորումներով:Գործընթացի հաստությունը տատանվում է 50 նանոմետրից մինչև 2 միկրոն, պրոցեսի ջերմաստիճանը մինչև 1100 աստիճան Ցելսիուս է, աճի մեթոդը բաժանված է երկու տեսակի «խոնավ թթվածին» և «չոր թթվածին»:Ջերմային օքսիդը «աճեցված» օքսիդային շերտ է, որն ունի ավելի բարձր միատեսակություն, ավելի լավ խտացում և ավելի բարձր դիէլեկտրական ուժ, քան CVD-ի ավանդադրված օքսիդային շերտերը, ինչը հանգեցնում է բարձր որակի:

Չոր թթվածնի օքսիդացում

Սիլիցիումը փոխազդում է թթվածնի հետ և օքսիդային շերտը անընդհատ շարժվում է դեպի ենթաշերտը։Չոր օքսիդացումն անհրաժեշտ է իրականացնել 850-ից մինչև 1200°C ջերմաստիճանում, ավելի ցածր աճի տեմպերով և կարող է օգտագործվել MOS-ով մեկուսացված դարպասի աճի համար:Չոր օքսիդացումը գերադասելի է թաց օքսիդացումից, երբ պահանջվում է բարձրորակ, ծայրահեղ բարակ սիլիցիումի օքսիդի շերտ:Չոր օքսիդացման հզորությունը՝ 15nm~300nm:

2. Խոնավ օքսիդացում

Այս մեթոդը օգտագործում է ջրի գոլորշի` բարձր ջերմաստիճանի պայմաններում վառարանի խողովակ մտնելու համար օքսիդ շերտ ստեղծելու համար:Թաց թթվածնի օքսիդացման խտացումը մի փոքր ավելի վատ է, քան չոր թթվածնի օքսիդացումը, բայց չոր թթվածնի օքսիդացման համեմատ դրա առավելությունն այն է, որ այն ունի ավելի բարձր աճի արագություն, որը հարմար է ավելի քան 500 նմ ֆիլմի աճի համար:Թաց օքսիդացման հզորությունը՝ 500 նմ ~ 2 մկմ:

AEMD-ի մթնոլորտային ճնշման օքսիդացման վառարանի խողովակը չեխական հորիզոնական վառարանի խողովակ է, որը բնութագրվում է գործընթացի բարձր կայունությամբ, ֆիլմի լավ միատեսակությամբ և մասնիկների բարձր վերահսկմամբ:Սիլիցիումի օքսիդի վառարանի խողովակը կարող է մշակել մինչև 50 վաֆլի մեկ խողովակում՝ գերազանց ներ և միջվաֆլի միատեսակությամբ: