4 դյույմ 6 դյույմ լիթիում նիոբատային միաբյուրեղային թաղանթ LNOI վաֆլի
LNOI նյութերի պատրաստման գործընթացը հիմնականում բաժանված է հետևյալ չորս քայլերի
(1) He իոնները որոշակի էներգիայով ներարկվել են X-կտրվածքով լիթիումի նիոբատային նյութի մեջ և ներմուծվել են արատավոր շերտի մեջ՝ լիթիումի նիոբատի մակերեսային շերտից որոշակի խորության վրա։
(2) Իոններով իմպլանտացված լիթիումի նիոբատային նյութը օքսիդային շերտով միացված է սիլիցիումային հիմքին՝ կապող կառուցվածք ձևավորելու համար։
(3) Կապող կառուցվածքը թրծվել է՝ He իոնի իմպլանտացիայի հետևանքով առաջացած արատները զարգանալու և ագրեգացնելու համար՝ ճաքեր առաջացնելու համար: Վերջապես, լիթիումի նիոբատը բաժանվել է արատի շերտի երկայնքով՝ լիթիումի նիոբատի մնացորդային շերտեր և LNOI թիթեղներ առաջացնելու համար:
LNOI թիթեղի կիրառությունները և առավելությունները
1--Լիթիումի նիոբատային պիեզոէլեկտրական թաղանթները (LNOI) ունեն բարձր պիեզոէլեկտրական գործակից և դիէլեկտրիկ հաստատուն, որոնք կարող են մեխանիկական էներգիան վերածել էլեկտրական էներգիայի կամ էլեկտրական էներգիան՝ մեխանիկական էներգիայի: Հետևաբար, այն լայնորեն կիրառվում է սենսորների ոլորտում, ինչպիսիք են ճնշման սենսորները, արագացման սենսորները, ջերմաստիճանի սենսորները և այլն: Բացի այդ, լիթիումի նիոբատային պիեզոէլեկտրական թաղանթը կարող է օգտագործվել նաև ակուստիկ սարքերում և թրթռման սարքերում, ինչպիսիք են պիեզոէլեկտրական կերամիկական փոխակերպիչները, բարդ պիեզոէլեկտրական կերամիկական ֆիլտրերը:
2- Լիթիումի նիոբատի պիեզոէլեկտրական թաղանթի կայունությունը նույնպես դրա առավելություններից մեկն է: Իր բյուրեղային կառուցվածքի կայունության և քիմիական իներտության շնորհիվ, լիթիումի նիոբատի պիեզոէլեկտրական թաղանթը կարող է աշխատել բարձր ջերմաստիճանում, բարձր խոնավության, ուժեղ թթուների, ուժեղ ալկալիների և այլ կոշտ միջավայրերում՝ ունենալով լավ կոռոզիոն դիմադրություն և դիմացկունություն:
3-լիթիում նիոբատային պիեզոէլեկտրական թաղանթը նոր պիեզոէլեկտրական նյութ է՝ գերազանց կատարողականությամբ և կայունությամբ, և ունի լայն կիրառման հեռանկար։ Գիտության և տեխնոլոգիայի շարունակական զարգացման շնորհիվ լիթիում նիոբատային պիեզոէլեկտրական թաղանթը կկիրառվի ավելի շատ քաղաքներում՝ մարդկանց կյանքին բերելով ավելի շատ հարմարավետություն և նորարարություն։
Մանրամասն դիագրամ
