4 դյույմ 6 դյույմ լիթիումի նիոբատ մեկ բյուրեղյա թաղանթ LNOI վաֆլի
LNOI նյութերի պատրաստման գործընթացը հիմնականում բաժանված է հետևյալ չորս քայլերի
(1) Նա իոնները ներարկվել են X-կտրված լիթիումի նիոբատի նյութի մեջ որոշակի էներգիայով և ներմուծվել արատավոր շերտի մեջ որոշակի խորությամբ լիթիումի նիոբատի մակերևութային շերտից ներքև.
(2) Իոնային իմպլանտացված լիթիումի նիոբատ նյութը միացված է սիլիցիումի սուբստրատի հետ օքսիդ շերտով` կապող կառուցվածք ձևավորելու համար.
(3) Կապող կառուցվածքը զտվել է, որպեսզի He իոնային իմպլանտացիայի արդյունքում առաջացած թերությունները զարգանան և ագրեգատվեն՝ առաջացնելով ճաքեր: Վերջապես, լիթիումի նիոբատը առանձնացվեց արատների շերտի երկայնքով՝ ձևավորելով լիթիումի նիոբատի մնացորդային շերտերը և LNOI վաֆլիները:
LNOI վաֆլի կիրառություններն ու առավելությունները
1-- Լիթիումի նիոբատի պիեզոէլեկտրական թաղանթները (LNOI) ունեն բարձր պիեզոէլեկտրական գործակից և դիէլեկտրական հաստատուն, որոնք կարող են մեխանիկական էներգիան վերածել էլեկտրական էներգիայի կամ էլեկտրական էներգիան մեխանիկական էներգիայի: Հետեւաբար, այն լայնորեն կիրառվում է սենսորների ոլորտում, ինչպիսիք են ճնշման սենսորները, արագացման սենսորները, ջերմաստիճանի տվիչները և այլն: Բացի այդ, լիթիումի նիոբատի պիեզոէլեկտրական թաղանթը կարող է օգտագործվել նաև ակուստիկ սարքերում և թրթռման սարքերում, ինչպիսիք են պիեզոէլեկտրական կերամիկական փոխարկիչի համալիր պիեզոէլեկտրական կերամիկական ֆիլտրը:
2-Լիտիումի նիոբատի պիեզոէլեկտրական թաղանթի կայունությունը նույնպես նրա առավելություններից է: Իր բյուրեղային կառուցվածքի կայունության և քիմիական իներտության շնորհիվ լիթիումի նիոբատ պիեզոէլեկտրական ֆիլմը կարող է աշխատել բարձր ջերմաստիճանի, բարձր խոնավության, ուժեղ թթվի, ուժեղ ալկալիի և այլ կոշտ միջավայրում, լավ կոռոզիոն դիմադրությամբ և ամրությամբ:
3-Լիթիումի նիոբատի պիեզոէլեկտրական թաղանթը նոր պիեզոէլեկտրական նյութ է գերազանց կատարողականությամբ և կայունությամբ և ունի լայն կիրառման հեռանկար: Գիտության և տեխնոլոգիայի շարունակական զարգացման հետ մեկտեղ լիթիումի նիոբատ պիեզոէլեկտրական ֆիլմը կկիրառվի ավելի շատ քաղաքներում՝ ավելի շատ հարմարավետություն և նորարարություն բերելով մարդկանց կյանքում:
Մանրամասն դիագրամ
