4H-N 8 դյույմ SiC սուբստրատի վաֆլի Silicon Carbide Dummy Research դասարանի 500 մմ հաստությամբ
Ինչպե՞ս եք ընտրում սիլիկոնային կարբիդային վաֆլիներ և SiC ենթաշերտեր:
Սիլիցիումի կարբիդի (SiC) վաֆլիներ և ենթաշերտեր ընտրելիս պետք է հաշվի առնել մի քանի գործոն: Ահա մի քանի կարևոր չափանիշներ.
Նյութի տեսակ. Որոշեք SiC նյութի տեսակը, որը համապատասխանում է ձեր կիրառմանը, օրինակ՝ 4H-SiC կամ 6H-SiC: Առավել հաճախ օգտագործվող բյուրեղային կառուցվածքը 4H-SiC է:
Դոպինգի տեսակը. Որոշեք, արդյոք Ձեզ անհրաժեշտ է դոպինգով կամ չմշակված SiC սուբստրատ: Դոպինգի տարածված տեսակներն են N-տիպը (n-doped) կամ P-type (p-doped)՝ կախված ձեր կոնկրետ պահանջներից:
Բյուրեղների որակ. Գնահատեք SiC վաֆլիների կամ ենթաշերտերի բյուրեղային որակը: Ցանկալի որակը որոշվում է այնպիսի պարամետրերով, ինչպիսիք են թերությունների քանակը, բյուրեղագրական կողմնորոշումը և մակերեսի կոշտությունը:
Վաֆլի տրամագիծը. Ընտրեք վաֆլի համապատասխան չափը՝ ձեր դիմումի հիման վրա: Ընդհանուր չափերը ներառում են 2 դյույմ, 3 դյույմ, 4 դյույմ և 6 դյույմ: Որքան մեծ է տրամագիծը, այնքան ավելի շատ բերք կարող եք ստանալ մեկ վաֆլի համար:
Հաստություն. Հաշվի առեք SiC վաֆլիների կամ ենթաշերտերի ցանկալի հաստությունը: Հաստության բնորոշ տարբերակները տատանվում են մի քանի միկրոմետրից մինչև մի քանի հարյուր միկրոմետր:
Կողմնորոշում. Որոշեք բյուրեղագրական կողմնորոշումը, որը համապատասխանում է ձեր հավելվածի պահանջներին: Ընդհանուր կողմնորոշումները ներառում են (0001) 4H-SiC-ի համար և (0001) կամ (0001̅) 6H-SiC-ի համար:
Մակերեւույթի հարդարում. Գնահատեք SiC վաֆլիների կամ ենթաշերտերի մակերեսային հարդարումը: Մակերեսը պետք է լինի հարթ, փայլեցված և զերծ քերծվածքներից կամ աղտոտիչներից:
Մատակարարի համբավ. Ընտրեք հեղինակավոր մատակարար, որը մեծ փորձ ունի բարձրորակ SiC վաֆլիների և ենթաշերտերի արտադրության մեջ: Հաշվի առեք այնպիսի գործոններ, ինչպիսիք են արտադրական կարողությունները, որակի վերահսկումը և հաճախորդների ակնարկները:
Արժեքը. Հաշվի առեք ծախսերի հետևանքները, ներառյալ մեկ վաֆլի կամ հիմքի գինը և հարմարեցման լրացուցիչ ծախսերը:
Կարևոր է ուշադիր գնահատել այս գործոնները և խորհրդակցել ոլորտի փորձագետների կամ մատակարարների հետ՝ համոզվելու համար, որ ընտրված SiC վաֆլիները և ենթաշերտերը համապատասխանում են ձեր հատուկ կիրառման պահանջներին: