Գերճշգրիտ SiC օդային կրող բեմ

Կարճ նկարագրություն՝

Կիսահաղորդչային արդյունաբերության շարունակական զարգացմանը զուգընթաց, մշակման և ստուգման սարքավորումները պահանջում են ավելի ու ավելի բարձր արտադրողականություն: Շարժման կառավարման և նանոմետրային մակարդակի դիրքորոշման ոլորտում լայնածավալ փորձի վրա հիմնվելով՝ մենք մշակել ենք հարթ H-տիպի երկառանցք գերճշգրիտ օդային կրող բեմ:

Ուղարկեք մեզ էլ. նամակ

Հատկանիշներ

Մանրամասն դիագրամ

Ընդհանուր տեսք

Ստեղծված վերջավոր տարրերով օպտիմիզացված սիլիցիումի կարբիդի (SiC) կերամիկական կառուցվածքով և փոխհատուցված օդային կրող տեխնոլոգիայով, բեմը ապահովում է բացառիկ ճշգրտություն, կոշտություն և դինամիկ արձագանք: Այն իդեալական է հետևյալի համար.

Կիսահաղորդիչների մշակում և ստուգում
Միկրո/նանո արտադրություն և չափագիտություն
Նանոմետրային մասշտաբի ճանճային կտրում և հղկում
Բարձր արագությամբ ճշգրիտ սկանավորում

Հիմնական առանձնահատկությունները

SiC օդային կրող ուղեցույցգերբարձր կոշտության և ճշգրտության համար
Բարձր դինամիկաարագություն մինչև 1 մ/վրկ, արագացում մինչև 4 գ, արագ նստեցում
Երկակի շարժիչով Y-առանցքապահովում է բարձր բեռնունակություն և կայունություն
Կոդավորիչի ընտրանքներօպտիկական ցանց կամ լազերային ինտերֆերոմետր
Դիրքորոշման ճշգրտությունը±0.15 մկմ;կրկնելիություն±75 նմ
Օպտիմիզացված մալուխային երթուղիմաքուր դիզայնի և երկարաժամկետ հուսալիության համար
Կարգավորելի կարգավորումներկիրառման հատուկ կարիքների համար

Գերճշգրիտ նախագծում և ուղիղ փոխանցմամբ, անհպում ճարտարապետություն

SiC կերամիկական շրջանակ~5 անգամ ավելի մեծ է ալյումինե համաձուլվածքի կարծրությունը և ~5 անգամ ավելի ցածր ջերմային ընդարձակումը, ինչը ապահովում է բարձր արագության կայունություն և ջերմային դիմացկունություն։
Կոմպենսացված օդային կրողՍեփական դիզայնը բարելավում է կարծրությունը, բեռնունակությունը և շարժման կայունությունը։
Դինամիկ կատարողականությունԱջակցում է 1 մ/վ արագություն և 4 գ արագացում, իդեալական է բարձր արտադրողականությամբ գործընթացների համար։
Անխափան ինտեգրումՀամատեղելի է թրթռման մեկուսացման համակարգերի, պտտվող փուլերի, թեքման մոդուլների և վեֆերի մշակման հարթակների հետ։
Մալուխների կառավարումԿարգավորվող ծռման շառավիղը նվազագույնի է հասցնում լարվածությունը՝ ապահովելով ծառայության ժամկետի երկարացում։

Առանց միջուկի գծային շարժիչՀարթ շարժում՝ զրոյական ատամնանիվային ուժով։
Բազմաշարժիչային փոխանցման համակարգԲեռնման հարթության վրա շարժիչի տեղադրումը բարելավում է ուղիղությունը, հարթությունը և անկյունային ճշգրտությունը։
ՋերմամեկուսացումԷլեկտրաշարժիչները մեկուսացված են բեմի կառուցվածքից։ Բարձր աշխատանքային ցիկլերի համար լրացուցիչ օդային կամ ջրային սառեցում։

Տեխնիկական բնութագրեր

Մոդել	400-400	500-500	600-600
Առանցքներ	X (սկանավորում) / Y (քայլ)	X (սկանավորում) / Y (քայլ)	X (սկանավորում) / Y (քայլ)
Ճանապարհ (մմ)	400 / 400	500 / 500	600 / 600
Ճշգրտություն (մկմ)	±0.15	±0.2	±0.2
Կրկնելիություն (նմ)	±75	±100	±100
Լուծաչափ (նմ)	0.3	0.3	0.3
Առավելագույն արագություն (մ/վ)	1	1	1
Արագացում (գ)	4	4	4
Ուղիղություն (մկմ)	±0.2	±0.3	±0.4
Կայունություն (նմ)	±5	±5	±5
Առավելագույն բեռ (կգ)	20	20	20
Թեքություն/Գլորում/Շեղում (արևային վայրկյան)	±1	±1	±1

Փորձարկման պայմաններ՝

Օդի մատակարարում՝ մաքուր, չոր; ցողի կետ ≤ 0°F; մասնիկների ֆիլտրացիա ≤ 0.25 մկմ; կամ 99.99% ազոտ։
Ճշգրտությունը չափվել է բեմի կենտրոնից 25 մմ վերև՝ 20±1 °C ջերմաստիճանում, 40–60% հարաբերական խոնավության պայմաններում։

Դիմումներ

Կիսահաղորդչային լիտոգրաֆիա, ստուգում և թիթեղների մշակում
Միկրո/նանո արտադրություն և ճշգրիտ չափագիտություն
Բարձրակարգ օպտիկայի արտադրություն և ինտերֆերոմետրիա
Ավիատիեզերական և առաջադեմ գիտական հետազոտություններ

Հաճախակի տրվող հարցեր – Սիլիկոնային կարբիդային օդային կրող բեմ

1. Ի՞նչ է օդային կրող բեմը։

Օդային կրող բեմը բեմի և ուղեցույցի միջև օգտագործում է ճնշման տակ գտնվող օդի բարակ թաղանթ՝ ապահովելու համարշփումից զերծ, մաշվածությունից զերծ և գերհարթ շարժումԻ տարբերություն ավանդական մեխանիկական կրողներից, այն վերացնում է կպչունությունը, ապահովում է նանոմետրական մակարդակի ճշգրտություն և ապահովում է երկարատև հուսալիություն։

2. Ինչո՞ւ օգտագործել սիլիցիումի կարբիդ (SiC) բեմի կառուցվածքի համար։

Բարձր կոշտություն~5× ալյումինե համաձուլվածքի համեմատ, ինչը նվազագույնի է հասցնում դեֆորմացիան դինամիկ շարժման ընթացքում։
Ցածր ջերմային ընդլայնում~5 անգամ ցածր, քան ալյումինը, պահպանելով ճշգրտությունը ջերմաստիճանի տատանումների դեպքում։
ԹեթևՊողպատի համեմատ ավելի ցածր խտություն, ինչը հնարավորություն է տալիս իրականացնել բարձր արագությամբ և բարձր արագացմամբ աշխատանք։
Գերազանց կայունությունԳերազանց մարում և կոշտություն՝ գերճշգրիտ դիրքավորման համար։

3. Արդյո՞ք բեմը պահանջում է յուղում կամ սպասարկում:

Ավանդական քսանյութի կարիք չկա, քանի որ կամեխանիկական շփում չկաԱռաջարկվող սպասարկումը ներառում է.

Մատակարարումմաքուր, չոր սեղմված օդ կամ ազոտ
Ֆիլտրերի և չորացուցիչների պարբերական ստուգում
Մալուխների և սառեցման համակարգերի մոնիթորինգ

4. Որո՞նք են օդի մատակարարման պահանջները։

Ցողի կետ՝ ≤ 0 °F (≈ –18 °C)
Մասնիկների ֆիլտրացիա՝ ≤ 0.25 մկմ
Մաքուր, չոր օդ կամ 99.99% մաքուր ազոտ
Կայուն ճնշում՝ նվազագույն տատանումներով

Մեր մասին

XKH-ը մասնագիտանում է հատուկ օպտիկական ապակու և նոր բյուրեղային նյութերի բարձր տեխնոլոգիական մշակման, արտադրության և վաճառքի մեջ: Մեր արտադրանքը նախատեսված է օպտիկական էլեկտրոնիկայի, սպառողական էլեկտրոնիկայի և ռազմական նպատակների համար: Մենք առաջարկում ենք սափրային օպտիկական բաղադրիչներ, բջջային հեռախոսների ոսպնյակների պատյաններ, կերամիկա, LT, սիլիցիումի կարբիդային SIC, քվարց և կիսահաղորդչային բյուրեղային վաֆլիներ: Որակավորված փորձագիտությամբ և առաջատար սարքավորումներով մենք գերազանցում ենք ոչ ստանդարտ արտադրանքի մշակման ոլորտում՝ նպատակ ունենալով դառնալ առաջատար օպտոէլեկտրոնային նյութերի բարձր տեխնոլոգիական ձեռնարկություն: