Սիլիկոնային կարբիդ ադամանդի մետաղալար կտրող մեքենա 4/6/8/12 դյույմ SiC ձուլակտորների մշակում

Կարճ նկարագրություն.

Սիլիցիումի կարբիդ Diamond Wire կտրող մեքենան մի տեսակ բարձր ճշգրտության մշակման սարքավորում է, որը նվիրված է սիլիցիումի կարբիդի (SiC) ձուլակտորին, օգտագործելով Diamond Wire Saw տեխնոլոգիան, բարձր արագությամբ շարժվող ադամանդե մետաղալարի միջոցով (գծի տրամագիծը 0,1~0,3 մմ) մինչև SiC ձուլակտոր բազմալարով կտրելու, ցածր-պակաս կտրելու համար: Սարքավորումը լայնորեն օգտագործվում է SiC էներգիայի կիսահաղորդիչների (MOSFET/SBD), ռադիոհաճախականության սարքի (GaN-on-SiC) և օպտոէլեկտրոնային սարքի ենթաշերտի մշակման մեջ, հանդիսանում է հիմնական սարքավորում SiC արդյունաբերության շղթայում:

Նամակ ուղարկեք մեզ

Ապրանքի մանրամասն

Ապրանքի պիտակներ

Աշխատանքային սկզբունք.

1. Ձուլակտորների ամրացում. SiC ձուլակտորը (4H/6H-SiC) ամրացվում է կտրող հարթակի վրա՝ ամրացման միջոցով՝ ապահովելու դիրքի ճշգրտությունը (±0,02 մմ):

2. Ադամանդի գծի շարժում. ադամանդի գիծը (էլեկտրապատված ադամանդի մասնիկներ մակերեսի վրա) շարժվում է բարձր արագությամբ շրջանառության համար ուղղորդող անիվի համակարգով (գծի արագությունը 10~30 մ/վ):

3. Կտրող սնուցում. ձուլակտորը սնվում է սահմանված ուղղության երկայնքով, իսկ ադամանդե գիծը միաժամանակ կտրվում է մի քանի զուգահեռ գծերով (100~500 տող)՝ բազմաթիվ վաֆլիներ ձևավորելու համար:

4. Սառեցում և չիպերի հեռացում. Սառեցրեք հովացուցիչ նյութ (դեիոնացված ջուր + հավելումներ) կտրման հատվածում՝ ջերմային վնասը նվազեցնելու և չիպսերը հեռացնելու համար:

Հիմնական պարամետրեր.

1. Կտրման արագությունը՝ 0,2~1,0մմ/րոպե (կախված SiC-ի բյուրեղային ուղղությունից և հաստությունից):

2. Գծի լարվածությունը. 20~50N (չափազանց բարձր հեշտ է կոտրել գիծը, չափազանց ցածր է ազդում կտրման ճշգրտության վրա):

3. Վաֆլի հաստությունը՝ ստանդարտ 350~500μm, վաֆլի կարող է հասնել 100μm:

Հիմնական հատկանիշները.

(1) Կտրման ճշգրտություն
Հաստության հանդուրժողականություն՝ ±5μm (@350μm վաֆլի), ավելի լավ, քան սովորական հավանգ կտրելը (±20μm):

Մակերեւույթի կոշտություն՝ Ra<0,5 մկմ (հետագա մշակման քանակությունը նվազեցնելու համար լրացուցիչ մանրացում չի պահանջվում):

Warpage՝ <10μm (նվազեցնում է հետագա փայլեցման դժվարությունը):

(2) Մշակման արդյունավետությունը
Բազմագծային կտրում. 100~500 հատ միանգամից կտրում, արտադրական հզորությունը 3~5 անգամ ավելացնում (ընդդեմ մեկ գծի կտրվածքի):

Գծի կյանքը. ադամանդի գիծը կարող է կտրել 100-300 կմ SiC (կախված ձուլակտորների կարծրությունից և գործընթացի օպտիմալացումից):

(3) Ցածր վնասների մշակում
Եզրերի կոտրվածք՝ <15 մկմ (ավանդական կտրում >50 մկմ), բարելավում է վաֆլի բերքատվությունը:

Ստորգետնյա վնասված շերտ՝ <5 μm (նվազեցնել փայլեցման հեռացումը):

(4) Շրջակա միջավայրի պահպանություն և տնտեսություն
Շաղախով աղտոտվածություն չկա. թափոնների հեղուկների հեռացման ծախսերը կրճատվել են՝ համեմատած շաղախի կտրման հետ:

Նյութի օգտագործում. Կտրման կորուստ <100 μm/ կտրիչ, խնայելով SiC հումքը:

Կտրող ազդեցություն.

1. Վաֆլի որակը. մակերեսի վրա մակրոսկոպիկ ճաքեր չկան, մի քանի մանրադիտակային թերություններ (վերահսկելի տեղահանման երկարացում): Կարող է ուղղակիորեն մտնել կոպիտ փայլեցման օղակ, կրճատել գործընթացի հոսքը:

2. Հետևողականություն. խմբաքանակում վաֆլի հաստության շեղումը <±3%, հարմար է ավտոմատացված արտադրության համար:

3. Կիրառելիություն. Աջակցում է 4H/6H-SiC ձուլակտորների կտրմանը, համատեղելի է հաղորդիչ/կիսամեկուսացված տեսակի հետ:

Տեխնիկական բնութագրեր:

Հստակեցում	Մանրամասներ
Չափերը (L × W × H)	2500x2300x2500 կամ հարմարեցնել
Վերամշակող նյութի չափերի միջակայք	4, 6, 8, 10, 12 դյույմ սիլիցիումի կարբիդ
Մակերեւույթի կոշտություն	Ra≤0.3u
Կտրման միջին արագություն	0.3 մմ / րոպե
Քաշը	5,5 տ
Կտրման գործընթացի սահմանման քայլերը	≤30 քայլ
Սարքավորումների աղմուկը	≤80 դԲ
Պողպատե մետաղալարերի լարվածություն	0~110N (0,25 մետաղալարերի լարվածությունը 45Ն է)
Պողպատե մետաղալարերի արագությունը	0~30 մ/վ
Ընդհանուր հզորություն	50 կվտ
Ադամանդե մետաղալարերի տրամագիծը	≥0,18 մմ
Վերջ հարթություն	≤0,05 մմ
Կտրման և կոտրելու արագությունը	≤1% (բացառությամբ մարդկային պատճառների, սիլիկոնային նյութի, գծի, պահպանման և այլ պատճառների)

XKH Ծառայություններ.

XKH-ն տրամադրում է սիլիցիումի կարբիդ ադամանդի մետաղալարերի ամբողջ գործընթացի սպասարկումը, ներառյալ սարքավորումների ընտրությունը (լարի տրամագիծը/լարերի արագության համընկնում), գործընթացի մշակումը (կտրման պարամետրի օպտիմալացում), սպառվող նյութերի մատակարարումը (ադամանդե մետաղալար, ուղեցույցի անիվ) և վաճառքից հետո աջակցություն (սարքավորումների սպասարկում, կտրման որակի վերլուծություն), օգնելու հաճախորդներին հասնել բարձր եկամտաբերության (> 95%), ցածր գնով: Այն նաև առաջարկում է հարմարեցված թարմացումներ (օրինակ՝ ծայրահեղ բարակ կտրում, ավտոմատ բեռնում և բեռնաթափում)՝ 4-8 շաբաթ տևողությամբ: