Սիլիցիումի կարբիդային կերամիկական սկուտեղի ծծիչ Սիլիցիումի կարբիդային կերամիկական խողովակի մատակարարում բարձր ջերմաստիճանի սինտերացման պատվերով մշակում
Հիմնական առանձնահատկությունները՝
1. Սիլիցիումի կարբիդային կերամիկական սկուտեղ
- Բարձր կարծրություն և մաշվածության դիմադրություն. կարծրությունը մոտ է ադամանդի կարծրությանը և կարող է երկար ժամանակ դիմակայել վաֆլիի մշակման մեխանիկական մաշվածությանը:
- Բարձր ջերմահաղորդականություն և ցածր ջերմային ընդարձակման գործակից. արագ ջերմափոխանակում և չափային կայունություն, խուսափելով ջերմային լարվածության հետևանքով առաջացած դեֆորմացիայից։
- Բարձր հարթություն և մակերեսի մշակում. Մակերեսի հարթությունը մինչև միկրոնի մակարդակ է, ապահովելով թիթեղի և սկավառակի միջև լիարժեք շփումը՝ նվազեցնելով աղտոտումը և վնասը։
Քիմիական կայունություն. ուժեղ կոռոզիոն դիմադրություն, հարմար է կիսահաղորդչային արտադրության մեջ խոնավ մաքրման և փորագրման գործընթացների համար:
2. Սիլիցիումի կարբիդային կերամիկական խողովակ
- Բարձր ջերմաստիճանի դիմադրություն. Այն կարող է երկար ժամանակ աշխատել 1600°C-ից բարձր բարձր ջերմաստիճանային միջավայրում, հարմար է կիսահաղորդչային բարձր ջերմաստիճանային գործընթացների համար։
Գերազանց կոռոզիոն դիմադրություն. դիմացկուն է թթուների, ալկալիների և տարբեր քիմիական լուծիչների նկատմամբ, հարմար է կոշտ գործընթացային միջավայրերի համար:
- Բարձր կարծրություն և մաշվածության դիմադրություն. դիմադրեք մասնիկների էրոզիային և մեխանիկական մաշվածությանը, երկարացրեք ծառայության ժամկետը:
- Բարձր ջերմահաղորդականություն և ջերմային ընդարձակման ցածր գործակից. ջերմության արագ հաղորդում և չափային կայունություն, նվազեցնելով ջերմային լարվածությունից առաջացած դեֆորմացիան կամ ճաքերը։
Արտադրանքի պարամետր.
Սիլիկոնային կարբիդային կերամիկական սկուտեղի պարամետր՝
| (Նյութական հատկություն) | (Միավոր) | (սսիկ) | |
| (SiC պարունակություն) | (Քաշ)% | >99 | |
| (Միջին հատիկի չափս) | միկրոն | 4-10 | |
| (Խտություն) | կգ/դմ3 | >3.14 | |
| (Ակնհայտ ծակոտկենություն) | Vo1% | <0.5 | |
| (Վիկերսի կարծրություն) | Բարձր հաճախականություն 0.5 | ՄՊԱ | 28 |
| *() Ճկման ամրություն* (երեք միավոր) | 20ºC | ՄՊա | 450 |
| (Սեղմման ուժ) | 20ºC | ՄՊա | 3900 |
| (Առաձգականության մոդուլ) | 20ºC | ՄՊԱ | 420 |
| (Կոտրվածքի դիմացկունություն) | ՄՊա/մ'% | 3.5 | |
| (Ջերմային հաղորդունակություն) | 20°C | Վտ/(մ*կ) | 160 |
| (Դիմադրություն) | 20°C | Օհմ.սմ | 106-108 |
(Ջերմային ընդարձակման գործակից) | ա(RT**...80ºC) | K-1*10-6 | 4.3 |
(Առավելագույն աշխատանքային ջերմաստիճանը) | oºC | 1700թ. | |
Սիլիկոնային կարբիդային կերամիկական խողովակի պարամետր.
| Ապրանքներ | Ինդեքս |
| α-SIC | 99% նվազագույն |
| Ակնհայտ ծակոտկենություն | Առավելագույնը՝ 16% |
| Ծավալային խտություն | 2.7 գ/սմ3 րոպե |
| Բարձր ջերմաստիճանում ծռման ամրությունը | 100 ՄՊա րոպե |
| Ջերմային ընդարձակման գործակից | K-1 4.7x10 -6 |
| Ջերմահաղորդականության գործակից (1400ºC) | 24 Վտ/մկ |
| Առավելագույն աշխատանքային ջերմաստիճանը | 1650ºC |
Հիմնական կիրառություններ՝
1. Սիլիցիումի կարբիդային կերամիկական թիթեղ
- Վաֆլիի կտրում և հղկում. ծառայում է որպես կրող հարթակ՝ կտրման և հղկման ընթացքում բարձր ճշգրտություն և կայունություն ապահովելու համար։
- Լիտոգրաֆիայի գործընթաց. Վաֆլին ամրացվում է լիտոգրաֆիկ մեքենայի մեջ՝ էքսպոզիցիայի ընթացքում բարձր ճշգրտությամբ դիրքավորումն ապահովելու համար:
- Քիմիական-մեխանիկական հղկում (CMP). գործում է որպես հենարան հղկող բարձիկների համար՝ ապահովելով միատարր ճնշում և ջերմության բաշխում։
2. Սիլիցիումի կարբիդային կերամիկական խողովակ
- Բարձր ջերմաստիճանի վառարանի խողովակ. օգտագործվում է բարձր ջերմաստիճանի սարքավորումների, ինչպիսիք են դիֆուզիոն վառարանը և օքսիդացման վառարանը, համար՝ բարձր ջերմաստիճանի գործընթացային մշակման համար նախատեսված թիթեղներ տեղափոխելու համար։
- CVD/PVD գործընթաց. Որպես ռեակցիոն խցիկում կրող խողովակ, դիմացկուն է բարձր ջերմաստիճանների և քայքայիչ գազերի նկատմամբ։
- Կիսահաղորդչային սարքավորումների պարագաներ՝ ջերմափոխանակիչների, գազատարների և այլնի համար՝ սարքավորումների ջերմային կառավարման արդյունավետությունը բարելավելու համար։
XKH-ն առաջարկում է սիլիցիումի կարբիդային կերամիկական սկուտեղների, ներծծող բաժակների և սիլիցիումի կարբիդային կերամիկական խողովակների համար նախատեսված ծառայությունների լայն տեսականի: Սիլիցիումի կարբիդային կերամիկական սկուտեղներն ու ներծծող բաժակները, XKH-ն, կարող են հարմարեցվել հաճախորդի պահանջներին համապատասխան՝ տարբեր չափերի, ձևերի և մակերեսային կոպտության, ինչպես նաև ապահովում են հատուկ ծածկույթային մշակում, բարձրացնում են մաշվածության և կոռոզիայի դիմադրությունը: Սիլիցիումի կարբիդային կերամիկական խողովակների համար XKH-ն կարող է հարմարեցնել ներքին տրամագծի, արտաքին տրամագծի, երկարության և բարդ կառուցվածքի բազմազանություն (օրինակ՝ ձևավորված խողովակ կամ ծակոտկեն խողովակ), ինչպես նաև ապահովել հղկում, հակաօքսիդացման ծածկույթ և մակերեսային մշակման այլ գործընթացներ: XKH-ն ապահովում է, որ հաճախորդները կարողանան լիարժեք օգտվել սիլիցիումի կարբիդային կերամիկական արտադրանքի կատարողականի առավելություններից՝ բավարարելու բարձրակարգ արտադրական ոլորտների, ինչպիսիք են կիսահաղորդիչները, լուսադիոդները և ֆոտովոլտայինները, պահանջկոտ պահանջները:
Մանրամասն դիագրամ
