SiC կերամիկական սկուտեղի գրաֆիտ CVD SiC ծածկույթով սարքավորումների համար

Կարճ նկարագրություն.

Shanghai Xinkehui New Materials Co., Ltd.-ն արտադրում է Φ380 մմ–Φ600 մմ կիսահաղորդչային փորագրման սկավառակ, վաֆլի կրող սկավառակ, սիլիկոնային կարբիդի սկուտեղ, SIC սկուտեղ, սիլիցիումի կարբիդի սկուտեղ, ICP փորագրման սկուտեղ, փորագրման սկուտեղ, սիլիցիումի կարբիդի մաքրություն, 9% ծառայության ժամկետ: չորս անգամ գերազանցում է գրաֆիտի վրա հիմնված CVD սկուտեղը, երկարաժամկետ օգտագործումը առանց դեֆորմացիայի, դիմացկուն է FH թթվի նկատմամբ, խտացված H2So4 կոռոզիայից:

Նամակ ուղարկեք մեզ

Ապրանքի մանրամասն

Ապրանքի պիտակներ

Սիլիցիումի կարբիդային կերամիկաները ոչ միայն օգտագործվում են բարակ թաղանթի նստեցման փուլում, ինչպիսիք են էպիտաքսիան կամ MOCVD-ը, կամ վաֆլի մշակման մեջ, որի հիմքում MOCVD-ի համար վաֆլի կրող սկուտեղներն առաջին հերթին ենթարկվում են նստվածքի միջավայրին և, հետևաբար, շատ դիմացկուն են ջերմություն և կոռոզիա: SiC ծածկված կրիչները նույնպես ունեն բարձր ջերմային հաղորդունակություն և ջերմային բաշխման գերազանց հատկություններ:

Մաքուր քիմիական գոլորշիների նստեցման սիլիցիումի կարբիդ (CVD SiC) վաֆլի կրիչներ բարձր ջերմաստիճանի մետաղական օրգանական քիմիական գոլորշիների նստեցման (MOCVD) մշակման համար:

Մաքուր CVD SiC վաֆլի կրիչները զգալիորեն գերազանցում են այս գործընթացում օգտագործվող սովորական վաֆլի կրիչները, որոնք գրաֆիտ են և պատված են CVD SiC շերտով: Այս ծածկված գրաֆիտի վրա հիմնված կրիչները չեն կարող դիմակայել բարձր ջերմաստիճաններին (1100-ից մինչև 1200 աստիճան Ցելսիուս), որոնք անհրաժեշտ են այսօրվա բարձր պայծառության կապույտ և սպիտակ լուսադիոդի GaN-ի նստեցման համար: Բարձր ջերմաստիճանը հանգեցնում է նրան, որ ծածկույթի վրա առաջանում են փոքրիկ անցքեր, որոնց միջով քիմիական նյութերը քայքայում են գրաֆիտը: Այնուհետև գրաֆիտի մասնիկները շերտավորվում են և աղտոտում GaN-ը, ինչի հետևանքով ծածկված վաֆլի կրիչը փոխարինվում է:

CVD SiC-ն ունի 99,999% կամ ավելի մաքրություն և ունի բարձր ջերմային հաղորդունակություն և ջերմային ցնցումների դիմադրություն: Հետևաբար, այն կարող է դիմակայել բարձր պայծառությամբ LED արտադրության բարձր ջերմաստիճաններին և կոշտ միջավայրերին: Այն ամուր մոնոլիտ նյութ է, որը հասնում է տեսական խտության, արտադրում է նվազագույն մասնիկներ և ցուցադրում է շատ բարձր կոռոզիոն և էրոզիայի դիմադրություն: Նյութը կարող է փոխել անթափանցիկությունը և հաղորդունակությունը՝ առանց մետաղական կեղտերի ներմուծման: Վաֆլի կրիչները սովորաբար ունեն 17 դյույմ տրամագծով և կարող են պահել մինչև 40 2-4 դյույմ վաֆլի: