SiC կերամիկական սկուտեղի գրաֆիտ CVD SiC ծածկույթով սարքավորումների համար
Սիլիցիումի կարբիդային կերամիկաները ոչ միայն օգտագործվում են բարակ թաղանթի նստեցման փուլում, ինչպիսիք են էպիտաքսիան կամ MOCVD-ը, կամ վաֆլի մշակման մեջ, որի հիմքում MOCVD-ի համար վաֆլի կրող սկուտեղներն առաջին հերթին ենթարկվում են նստվածքի միջավայրին և, հետևաբար, շատ դիմացկուն են ջերմություն և կոռոզիա: SiC ծածկված կրիչները նույնպես ունեն բարձր ջերմային հաղորդունակություն և գերազանց ջերմային բաշխման հատկություններ:
Մաքուր քիմիական գոլորշիների նստեցման սիլիցիումի կարբիդ (CVD SiC) վաֆլի կրիչներ բարձր ջերմաստիճանի մետաղական օրգանական քիմիական գոլորշիների նստեցման (MOCVD) մշակման համար:
Մաքուր CVD SiC վաֆլի կրիչները զգալիորեն գերազանցում են այս գործընթացում օգտագործվող սովորական վաֆլի կրիչները, որոնք գրաֆիտ են և պատված են CVD SiC շերտով:Այս ծածկված գրաֆիտի վրա հիմնված կրիչները չեն կարող դիմակայել բարձր ջերմաստիճաններին (1100-ից մինչև 1200 աստիճան Ցելսիուս), որոնք անհրաժեշտ են այսօրվա բարձր պայծառության կապույտ և սպիտակ լուսադիոդի GaN-ի նստեցման համար:Բարձր ջերմաստիճանը հանգեցնում է նրան, որ ծածկույթի վրա առաջանում են փոքրիկ անցքեր, որոնց միջով քիմիական նյութերը քայքայում են գրաֆիտը:Այնուհետև գրաֆիտի մասնիկները շերտավորվում են և աղտոտում GaN-ը, ինչի հետևանքով ծածկված վաֆլի կրիչը փոխարինվում է:
CVD SiC-ն ունի 99,999% կամ ավելի մաքրություն և ունի բարձր ջերմային հաղորդունակություն և ջերմային ցնցումների դիմադրություն:Հետևաբար, այն կարող է դիմակայել բարձր պայծառությամբ LED արտադրության բարձր ջերմաստիճաններին և կոշտ միջավայրերին:Այն ամուր մոնոլիտ նյութ է, որը հասնում է տեսական խտության, արտադրում է նվազագույն մասնիկներ և ցուցադրում է շատ բարձր կոռոզիոն և էրոզիայի դիմադրություն:Նյութը կարող է փոխել անթափանցիկությունը և հաղորդունակությունը՝ առանց մետաղական կեղտեր ներմուծելու:Վաֆլի կրիչները սովորաբար ունեն 17 դյույմ տրամագծով և կարող են պահել մինչև 40 2-4 դյույմ վաֆլի:
Մանրամասն դիագրամ
![WechatIMG7978](http://www.xkh-semitech.com/uploads/WechatIMG7978.png)
![WechatIMG7979](http://www.xkh-semitech.com/uploads/WechatIMG7979.png)
![WechatIMG27151](http://www.xkh-semitech.com/uploads/WechatIMG27151.png)