Պրեմիում շափյուղայից պատրաստված բարձրացնող քորոցներ՝ միաբյուրեղյա Al₂O₃ վաֆլի բարձրացնող քորոց

Կարճ նկարագրություն՝

Սապֆիրային բարձրացնող քորոցները ներկայացնում են կիսահաղորդչային մշակման բաղադրիչների կարևորագույն առաջընթաց, որոնք նախագծված են գերբարձր մաքրության միաբյուրեղային շափյուղայից (Al₂O₃)՝ ժամանակակից միկրոարտադրության տեխնոլոգիաների խիստ պահանջները բավարարելու համար: Այս ճշգրիտ բաղադրիչները դարձել են անփոխարինելի կիսահաղորդչային սարքերի արտադրության, LED էպիտաքսիալ աճի համակարգերի և առաջադեմ վաֆլի մշակման կիրառություններում: Սինթետիկ շափյուղայի եզակի բյուրեղային կառուցվածքը հաղորդում է արտասովոր նյութական հատկություններ, որոնք թույլ են տալիս այս բարձրացնող քորոցներին գերազանցել ավանդական այլընտրանքները ամենադժվարին գործառնական միջավայրերում: Դրանց բացառիկ ջերմային կայունությունը պահպանում է մեխանիկական ամբողջականությունը ծայրահեղ ջերմաստիճանային գրադիենտների դեպքում, մինչդեռ դրանց բնածին քիմիական դիմադրությունը ապահովում է կայուն աշխատանք՝ ագրեսիվ գործընթացային քիմիական նյութերի ազդեցության տակ: Հատկանիշների այս համադրությունը Սապֆիրային բարձրացնող քորոցները դարձնում է վաֆլի մշակման կարևոր կիրառությունների համար նախընտրելի լուծում, որտեղ նանոմետրային մակարդակի ճշգրտությունը, աղտոտվածության վերահսկումը և գործընթացի հուսալիությունը գերակա են:

Ուղարկեք մեզ էլ. նամակ

Ապրանքի մանրամասներ

Ապրանքի պիտակներ

Տեխնիկական պարամետրեր

Քիմիական կազմը	Al2O3
Կարծրություն	9 Մոհս
Օպտիկական բնույթ	Միակողմանի
Բեկման ցուցիչ	1.762-1.770
Երկկողմանի բեկում	0.008-0.010
Դիսպերսիա	Ցածր, 0.018
Փայլ	Ապակենման մարմին
Պլեոքրոիզմ	Միջինից մինչև ուժեղ
Տրամագիծ	0.4մմ-30մմ
Տրամագծի հանդուրժողականություն	0.004 մմ-0.05 մմ
երկարություն	2մմ-150մմ
երկարության հանդուրժողականություն	0.03մմ-0.25մմ
Մակերեսի որակը	40/20
Մակերեսի կլորություն	RZ0.05
Հատուկ ձև	երկու ծայրերն էլ հարթ, մեկ ծայրը՝ ռեդիուս, երկու ծայրերն էլ ռեդիուս, թամբի քորոցներ և հատուկ ձևեր

Հիմնական առանձնահատկությունները

1. Բացառիկ կարծրություն և մաշվածության դիմադրություն. Մոհսի կարծրության 9 վարկանիշով, որը երկրորդն է միայն ադամանդից հետո, Sapphire Lift Pins-ը ցուցաբերում է մաշվածության բնութագրեր, որոնք զգալիորեն գերազանցում են ավանդական սիլիցիումի կարբիդի, ալյումինե կերամիկայի կամ մետաղական համաձուլվածքների այլընտրանքներին: Այս ծայրահեղ կարծրությունը զգալիորեն նվազեցնում է մասնիկների առաջացումը և սպասարկման պահանջները, իսկ ծառայության ժամկետը սովորաբար 3-5 անգամ ավելի երկար է, քան ավանդական նյութերում՝ համեմատելի կիրառություններում:

2. Գերազանց բարձր ջերմաստիճանային դիմադրություն. Նախագծված լինելով դիմակայելու 1000°C-ից բարձր ջերմաստիճաններում երկարատև շահագործմանը՝ առանց քայքայման, Sapphire Lift Pins-ը պահպանում է չափային կայունությունը և մեխանիկական ամրությունը ամենախստապահանջ ջերմային գործընթացներում: Սա դրանք հատկապես արժեքավոր է դարձնում կարևորագույն կիրառությունների համար, ինչպիսիք են քիմիական գոլորշու նստեցումը (CVD), մետաղ-օրգանական քիմիական գոլորշու նստեցումը (MOCVD) և բարձր ջերմաստիճանային թրծման համակարգերը, որտեղ ջերմային ընդարձակման անհամապատասխանությունը կարող է վտանգել գործընթացի արդյունավետությունը:

3. Քիմիական իներտություն. Միաբյուրեղյա շափյուղայի կառուցվածքը ցուցաբերում է ուշագրավ դիմադրություն HF թթվի, քլորի վրա հիմնված քիմիական նյութերի և կիսահաղորդչային արտադրության մեջ հաճախ հանդիպող այլ ագրեսիվ պրոցեսային գազերի ազդեցությանը: Այս քիմիական կայունությունը ապահովում է կայուն աշխատանք պլազմային միջավայրերում և կանխում է մակերեսային արատների առաջացումը, որոնք կարող են հանգեցնել վեֆերի աղտոտման:

4. Մասնիկների ցածր աղտոտվածություն. Պատրաստված լինելով թերություններ չունեցող, բարձր մաքրության շափյուղայի բյուրեղներից (սովորաբար >99.99%), այս բարձրացնող քորոցները ցուցաբերում են մասնիկների նվազագույն արտանետում նույնիսկ երկարատև օգտագործումից հետո: Դրանց ոչ ծակոտկեն մակերեսային կառուցվածքը և հղկված մակերեսը համապատասխանում են մաքուր սենյակների ամենախիստ պահանջներին, ուղղակիորեն նպաստելով առաջադեմ հանգույցային կիսահաղորդչային արտադրության գործընթացային արտադրողականության բարելավմանը:

Բարձր ճշգրտությամբ մեքենայացում. Օգտագործելով առաջադեմ ադամանդի հղկման և լազերային մշակման տեխնիկա, Sapphire Lift Pins-ը կարող է արտադրվել ենթամիկրոնային հանդուրժողականությամբ և 0.05 մկմ-ից ցածր Ra մակերեսային մշակումով: Կարող են նախագծվել հատուկ երկրաչափություններ, ներառյալ կոնաձև պրոֆիլներ, հատուկ ծայրակալների կոնֆիգուրացիաներ և ինտեգրված հավասարեցման գործառույթներ՝ հաջորդ սերնդի արտադրական սարքավորումներում վաֆլիների մշակման հետ կապված որոշակի մարտահրավերներ լուծելու համար:

Հիմնական կիրառություններ

1. Կիսահաղորդչային արտադրություն. Սապֆիրային բարձրացնող քորոցները կարևոր դեր են խաղում առաջադեմ վաֆլի մշակման համակարգերում՝ ապահովելով հուսալի հենարան և ճշգրիտ դիրքավորում ֆոտոլիտոգրաֆիայի, փորագրման, նստեցման և ստուգման գործընթացների ժամանակ: Դրանց ջերմային և քիմիական կայունությունը դրանք հատկապես արժեքավոր է դարձնում EUV լիտոգրաֆիայի գործիքներում և առաջադեմ փաթեթավորման կիրառություններում, որտեղ նանոմետրային մասշտաբներով չափային կայունությունը կարևոր է:

2. LED էպիտաքսիա (MOCVD): Գալիումի նիտրիդի (GaN) և դրան առնչվող բարդ կիսահաղորդչային էպիտաքսիալ աճեցման համակարգերում, Sapphire Lift Pins-ը ապահովում է կայուն վաֆլիի հենարան հաճախ 1000°C-ից բարձր ջերմաստիճաններում: Դրանց համապատասխան ջերմային ընդարձակման բնութագրերը շափյուղայի հիմքերի հետ նվազագույնի են հասցնում վաֆլիի ծռումը և սահքի առաջացումը էպիտաքսիալ աճի գործընթացում:

3. Ֆոտովոլտային արդյունաբերություն. Բարձր արդյունավետությամբ արևային մարտկոցների արտադրությունը օգտվում է շափյուղայի եզակի հատկություններից բարձր ջերմաստիճանային դիֆուզիայի, սինտերացման և բարակ թաղանթային նստեցման գործընթացներում: Գնդիկների մաշվածության դիմադրությունը հատկապես արժեքավոր է զանգվածային արտադրության միջավայրերում, որտեղ բաղադրիչների երկարակեցությունը անմիջականորեն ազդում է արտադրական ծախսերի վրա:

4. Ճշգրիտ օպտիկայի և էլեկտրոնիկայի մշակում. Կիսահաղորդչային կիրառություններից զատ, Sapphire Lift Pins-ները կիրառվում են նուրբ օպտիկական բաղադրիչների, MEMS սարքերի և մասնագիտացված հիմքերի հետ աշխատելու համար, որտեղ աղտոտումից զերծ մշակումը և քերծվածքներից պաշտպանությունը կարևոր են: Դրանց էլեկտրական մեկուսացման հատկությունները դրանք իդեալական են դարձնում էլեկտրաստատիկ զգայուն սարքերի հետ կապված կիրառությունների համար:

XKH-ի ծառայությունները շափյուղա վերելակի քորոցների համար

XKH-ը տրամադրում է համապարփակ տեխնիկական աջակցություն և անհատականացված լուծումներ Sapphire Lift Pins-ի համար։

1. Պատվերով մշակման ծառայություններ
· Աջակցություն չափային, երկրաչափական և մակերեսային մշակման անհատականացմանը
· Նյութի ընտրություն և տեխնիկական պարամետրերի օպտիմալացման առաջարկություններ
· Համագործակցային արտադրանքի դիզայն և մոդելավորման ստուգում
2. Ճշգրիտ արտադրության հնարավորություններ
· Բարձր ճշգրտությամբ մեքենայացում՝ ±1 մկմ-ի սահմաններում վերահսկվող հանդուրժողականությամբ
· Հատուկ մշակումներ, ներառյալ հայելու փայլեցում և եզրերի թեքում
· Մակերեսի փոփոխման լրացուցիչ լուծումներ, ինչպիսիք են հակակպչուն ծածկույթները
3. Որակի ապահովման համակարգ
· Մուտքային նյութերի ստուգման և գործընթացների վերահսկողության խիստ իրականացում
· Լիաչափ օպտիկական զննում և մակերևույթի ձևաբանության վերլուծություն
· Արտադրանքի կատարողականի փորձարկման հաշվետվությունների տրամադրում
4. Մատակարարման շղթայի ծառայություններ
· Ստանդարտ ապրանքների արագ առաքում
· Հիմնական հաշիվների համար նվիրված գույքագրման կառավարում
5. Տեխնիկական աջակցություն
· Կիրառական լուծումների խորհրդատվություն
· Արագ հետվաճառքային արձագանք
Մենք հանձնառու ենք տրամադրել բարձրորակ Sapphire Lift Pins արտադրանք և մասնագիտական տեխնիկական ծառայություններ՝ կիսահաղորդչային, LED և այլ առաջադեմ արդյունաբերությունների խիստ պահանջները բավարարելու համար։