Լիովին ավտոմատ վաֆլի օղակների կտրման սարքավորում՝ աշխատանքային չափսերով՝ 8 դյույմ/12 դյույմ

Կարճ նկարագրություն՝

XKH-ը անկախ մշակել է լիովին ավտոմատացված վաֆլիի եզրերի կտրման համակարգ, որը ներկայացնում է առաջադեմ լուծում, որը նախատեսված է կիսահաղորդչային արտադրության առջևի գործընթացների համար: Այս սարքավորումը ներառում է նորարարական բազմաառանցքային համաժամանակյա կառավարման տեխնոլոգիա և ունի բարձր կոշտության իլիկի համակարգ (առավելագույն պտտման արագություն՝ 60,000 պտույտ/րոպե), որն ապահովում է եզրերի ճշգրիտ կտրում՝ մինչև ±5 մկմ կտրման ճշգրտությամբ: Համակարգը ցուցադրում է գերազանց համատեղելիություն տարբեր կիսահաղորդչային հիմքերի հետ, ներառյալ, բայց չսահմանափակվելով դրանով՝
1. Սիլիկոնային վաֆլի (Si): Հարմար է 8-12 դյույմանոց վաֆլիների եզրային մշակման համար։
2. Բարդ կիսահաղորդիչներ. Երրորդ սերնդի կիսահաղորդչային նյութեր, ինչպիսիք են GaAs-ը և SiC-ը։
3. Հատուկ հիմքեր. Պիեզոէլեկտրական նյութական վաֆլիներ, ներառյալ LT/LN;

Մոդուլային դիզայնը հնարավորություն է տալիս արագ փոխարինել բազմաթիվ ծախսվող նյութեր, այդ թվում՝ ադամանդե շեղբեր և լազերային կտրող գլխիկներ, համատեղելիությամբ, որը գերազանցում է արդյունաբերական չափանիշները: Մասնագիտացված գործընթացային պահանջների համար մենք տրամադրում ենք համապարփակ լուծումներ, որոնք ներառում են.
· Հատուկ կտրող ծախսվող նյութերի մատակարարում
· Անհատական մշակման ծառայություններ
· Գործընթացի պարամետրերի օպտիմալացման լուծումներ

Ուղարկեք մեզ էլ. նամակ

Հատկանիշներ

Տեխնիկական պարամետրեր

Պարամետր	Միավոր	Տեխնիկական բնութագրեր
Աշխատանքային մասի առավելագույն չափը	mm	ø12"
Սփինդլ	Կարգավորում	Միակողմանի սպինդլ
	Արագություն	3,000–60,000 պտույտ/րոպե
	Ելքային հզորություն	1.8 կՎտ (2.4 լրացուցիչ) 30,000 րոպեում⁻¹
	Սայրի առավելագույն տրամագիծը։	Ø58 մմ
X-առանցք	Կտրման տիրույթ	310 մմ
Y-առանցք	Կտրման տիրույթ	310 մմ
	Քայլի աճ	0.0001 մմ
	Դիրքորոշման ճշգրտություն	≤0.003 մմ/310 մմ, ≤0.002 մմ/5 մմ (մեկ սխալ)
Z-առանցք	Շարժման լուծում	0.00005 մմ
Z-առանցք	Կրկնելիություն	0.001 մմ
θ-առանցք	Առավելագույն պտույտ	380 աստիճան
Առանցքի տեսակը		Միակողմանի առանցք, օղակաձև կտրման համար նախատեսված կոշտ շեղբով
Օղակաձև կտրման ճշգրտություն	մկմ	±50
Վաֆլիի դիրքավորման ճշգրտությունը	մկմ	±50
Մեկ վաֆլիի արդյունավետություն	րոպե/վաֆեր	8
Բազմաթիթեղային արդյունավետություն		Միաժամանակ մշակվում է մինչև 4 վաֆլի
Սարքավորման քաշը	kg	≈3,200
Սարքավորման չափերը (Լայնություն × Խորություն × Բարձրություն)	mm	2,730 × 1,550 × 2,070

Գործողության սկզբունքը

Համակարգը հասնում է կտրման բացառիկ արդյունավետության հետևյալ հիմնական տեխնոլոգիաների միջոցով.

1. Խելացի շարժման կառավարման համակարգ.
· Բարձր ճշգրտությամբ գծային շարժիչային շարժիչ (կրկնակի դիրքավորման ճշգրտություն՝ ±0.5 մկմ)
· Վեց առանցքային համաժամանակյա կառավարում, որը աջակցում է բարդ հետագծի պլանավորմանը
· Իրական ժամանակի թրթռման ճնշման ալգորիթմներ, որոնք ապահովում են կտրման կայունությունը

2. Առաջադեմ հայտնաբերման համակարգ.
· Ինտեգրված 3D լազերային բարձրության սենսոր (ճշգրտություն՝ 0.1 մկմ)
· Բարձր թույլտվությամբ CCD տեսողական դիրքավորում (5 մեգապիքսել)
· Առցանց որակի ստուգման մոդուլ

3. Լիովին ավտոմատացված գործընթաց.
· Ավտոմատ բեռնում/բեռնաթափում (FOUP ստանդարտ ինտերֆեյսի հետ համատեղելի)
· Խելացի տեսակավորման համակարգ
· Փակ ցիկլով մաքրման սարք (մաքրություն՝ դաս 10)

Տիպիկ կիրառություններ

Այս սարքավորումը զգալի արժեք է ներկայացնում կիսահաղորդչային արտադրության բոլոր ոլորտներում.

Կիրառման դաշտ	Գործընթացային նյութեր	Տեխնիկական առավելություններ
Ինտեգրալ սխեմաների արտադրություն	8/12" սիլիկոնային վաֆլիներ	Բարելավում է լիտոգրաֆիայի հավասարեցումը
Էլեկտրաէներգիայի սարքեր	SiC/GaN թիթեղներ	Կանխում է եզրերի թերությունները
MEMS սենսորներ	SOI վաֆլիներ	Ապահովում է սարքի հուսալիությունը
Ռադիոհաճախականության սարքեր	GaAs վաֆլիներ	Բարելավում է բարձր հաճախականության կատարողականը
Առաջադեմ փաթեթավորում	Վերականգնված վաֆլիներ	Բարձրացնում է փաթեթավորման արդյունավետությունը

Հատկանիշներ

1. Չորս կայանի կոնֆիգուրացիա բարձր մշակման արդյունավետության համար։
2. Կայուն TAIKO օղակի ապակապում և հեռացում։
3. Բարձր համատեղելիություն հիմնական սպառվող նյութերի հետ։
4. Բազմաառանցքային համաժամանակյա կտրման տեխնոլոգիան ապահովում է եզրերի ճշգրիտ կտրում։
5. Լիովին ավտոմատացված գործընթացային հոսքը զգալիորեն նվազեցնում է աշխատուժի ծախսերը։
6. Անհատականացված աշխատանքային սեղանի դիզայնը հնարավորություն է տալիս կայուն մշակել հատուկ կառուցվածքները։

Ֆունկցիաներ

1. Օղակի կաթիլի հայտնաբերման համակարգ։
2. Աշխատանքային սեղանի ավտոմատ մաքրում;
3. Ինտելեկտուալ ուլտրամանուշակագույն ապակապման համակարգ։
4. Գործողության գրանցամատյանի գրանցում։
5. Գործարանային ավտոմատացման մոդուլի ինտեգրում;

Ծառայության պարտավորություն

XKH-ը մատուցում է համապարփակ, կյանքի ցիկլի ամբողջական աջակցության ծառայություններ, որոնք նախատեսված են սարքավորումների արտադրողականությունը և գործառնական արդյունավետությունը ձեր արտադրական ողջ ընթացքում մեծացնելու համար։
1. Անհատականացման ծառայություններ
· Սարքավորումների անհատական կարգավորում. Մեր ինժեներական թիմը սերտորեն համագործակցում է հաճախորդների հետ՝ համակարգի պարամետրերը (կտրման արագություն, շեղբի ընտրություն և այլն) օպտիմալացնելու համար՝ հիմնվելով նյութի որոշակի հատկությունների (Si/SiC/GaAs) և գործընթացի պահանջների վրա:
· Գործընթացների մշակման աջակցություն. Մենք առաջարկում ենք նմուշների մշակում՝ մանրամասն վերլուծական հաշվետվություններով, ներառյալ եզրերի կոպտության չափումը և թերությունների քարտեզագրումը:
· Սպառվող նյութերի համատեղ մշակում. Նորարարական նյութերի (օրինակ՝ Ga₂O₃) համար մենք համագործակցում ենք առաջատար սպառվող նյութերի արտադրողների հետ՝ կիրառմանը հատուկ շեղբեր/լազերային օպտիկա մշակելու համար։

2. Մասնագիտական տեխնիկական աջակցություն
· Նվիրված տեղում աջակցություն. Նշանակեք հավաստագրված ինժեներներ կարևորագույն արագացման փուլերի համար (սովորաբար 2-4 շաբաթ), որը ներառում է.
Սարքավորումների կարգաբերում և գործընթացների նուրբ կարգավորում
Օպերատորի որակավորման վերապատրաստում
ISO 5 դասի մաքուր սենյակների ինտեգրման ուղեցույց
· Կանխատեսողական սպասարկում. եռամսյակային առողջության ստուգումներ՝ թրթռման վերլուծությամբ և սերվոշարժիչի ախտորոշմամբ՝ չպլանավորված անսարքությունները կանխելու համար։
· Հեռակա մոնիթորինգ. Սարքավորումների աշխատանքի իրական ժամանակի հետևում մեր IoT հարթակի (JCFront Connect®) միջոցով՝ ավտոմատացված անոմալիաների մասին ահազանգերով։

3. Ավելացված արժեքի ծառայություններ
· Գործընթացների գիտելիքների բազա. մուտք դեպի տարբեր նյութերի 300+ վավերացված կտրման բաղադրատոմսեր (թարմացվում են եռամսյակը մեկ):
· Տեխնոլոգիական ճանապարհային քարտեզի համապատասխանեցում. Ձեր ներդրումը ապագայի համար ապահովեք ապարատային/ծրագրային ապահովման արդիականացման ուղիներով (օրինակ՝ արհեստական բանականության վրա հիմնված թերությունների հայտնաբերման մոդուլ):
· Արտակարգ իրավիճակների արձագանք. երաշխավորված 4-ժամյա հեռակա ախտորոշում և 48-ժամյա տեղում միջամտություն (գլոբալ ծածկույթ):

4. Ծառայողական ենթակառուցվածք
· Արդյունավետության երաշխիք. պայմանագրային պարտավորություն սարքավորումների ≥98% անխափան աշխատանքի համար՝ SLA-ով ապահովված արձագանքման ժամանակներով։

Շարունակական կատարելագործում

Մենք անցկացնում ենք հաճախորդների գոհունակության երկամյա հարցումներ և իրականացնում ենք Kaizen նախաձեռնություններ՝ ծառայությունների մատուցումը բարելավելու համար: Մեր հետազոտությունների և զարգացման թիմը դաշտային ստացված տվյալները վերածում է սարքավորումների արդիականացման. ծրագրային ապահովման բարելավումների 30%-ը գալիս է հաճախորդների արձագանքներից: