Կրկնակի կայանային քառակուսի մեքենա մոնոբյուրեղային սիլիցիումի ձող մշակող 6/8/12 դյույմ մակերեսի հարթություն Ra≤0.5μm
Սարքավորումների բնութագրերը.
(1) Կրկնակի կայանի համաժամանակյա մշակում
· Կրկնակի արդյունավետություն. երկու սիլիկոնե ձողերի (Ø6"-12") միաժամանակյա մշակումը բարձրացնում է արտադրողականությունը 40%-60%-ով` համեմատած Simplex սարքավորումների:
· Անկախ հսկողություն. Յուրաքանչյուր կայան կարող է ինքնուրույն կարգավորել կտրման պարամետրերը (լարվածություն, սնուցման արագություն)՝ հարմարվելու սիլիկոնային ձողերի տարբեր բնութագրերին:
(2) Բարձր ճշգրտության կտրում
· Չափերի ճշգրտություն՝ քառակուսի բարի կողմի հեռավորության հանդուրժողականություն ±0,15 մմ, միջակայքը ≤0,20 մմ:
· Մակերեւույթի որակը. կտրող եզրի կոտրվածք <0,5 մմ, նվազեցնել հետագա հղկման քանակը:
(3) Խելացի հսկողություն
· Հարմարվողական կտրում. սիլիցիումի ձողերի մորֆոլոգիայի իրական ժամանակի մոնիտորինգ, կտրման ուղու դինամիկ ճշգրտում (ինչպես, օրինակ, ծռված սիլիցիումի ձողի մշակումը):
· Տվյալների հետագծելիություն. գրանցել յուրաքանչյուր սիլիկոնե ձողի մշակման պարամետրերը՝ MES համակարգի կցումը աջակցելու համար:
(4) Ցածր սպառվող արժեքը
· Ադամանդե մետաղալարերի սպառումը` ≤0,06մ/մմ (սիլիկոնի ձողի երկարությունը), մետաղալարի տրամագիծը ≤0,30մմ:
· Սառեցնող հեղուկի շրջանառություն. ֆիլտրման համակարգը երկարացնում է ծառայության ժամկետը և նվազեցնում թափոնների հեղուկների հեռացումը:
Տեխնոլոգիայի և զարգացման առավելությունները.
(1) Կտրման տեխնոլոգիայի օպտիմալացում
- Բազմագծային կտրում. զուգահեռաբար օգտագործվում են 100-200 ադամանդե գծեր, իսկ կտրման արագությունը ≥40 մմ/րոպե է:
- Լարվածության հսկողություն. փակ հանգույցի ճշգրտման համակարգ (± 1N)՝ լարերի կոտրման վտանգը նվազեցնելու համար:
(2) Համատեղելիության ընդլայնում
- Նյութի հարմարեցում. Աջակցում է P-տիպի/N-տիպի միաբյուրեղ սիլիցիումին, որը համատեղելի է TOPCon-ի, HJT-ի և բարձր արդյունավետության մարտկոցների սիլիկոնային ձողերի հետ:
- Ճկուն չափս. սիլիկոնե ձողի երկարությունը 100-950 մմ, քառակուսի ձողի կողային հեռավորությունը 166-233 մմ կարգավորելի:
(3) Ավտոմատացման արդիականացում
- Ռոբոտի բեռնում և բեռնաթափում. սիլիցիումի ձողերի ավտոմատ բեռնում/բեռնաթափում, հարված ≤3 րոպե:
- Խելացի ախտորոշում. կանխատեսելի սպասարկում՝ չպլանավորված պարապուրդը նվազեցնելու համար:
(4) արդյունաբերության ղեկավարություն
- Վաֆլի աջակցություն. կարող է մշակել ≥100 μm գերբարակ սիլիցիում քառակուսի ձողերով, մասնատման արագությունը <0,5%:
- Էներգիայի սպառման օպտիմիզացում. Էներգիայի սպառումը մեկ միավորի սիլիցիումի ձողի վրա կրճատվում է 30%-ով (ընդդեմ ավանդական սարքավորումների):
Տեխնիկական պարամետրեր.
Պարամետրի անվանումը | Ինդեքսի արժեքը |
Մշակված ձողերի քանակը | 2 հատ / հավաքածու |
Մշակման բարերի երկարության միջակայքը | 100-950 մմ |
Մեքենաների մարժան միջակայք | 166-233 մմ |
Կտրման արագություն | ≥40 մմ/րոպե |
Ադամանդե մետաղալարերի արագությունը | 0~35մ/վրկ |
Ադամանդի տրամագիծը | 0,30 մմ կամ պակաս |
Գծային սպառում | 0.06 մ/մմ կամ պակաս |
Համատեղելի կլոր ձողի տրամագիծը | Պատրաստի քառակուսի ձողի տրամագիծը +2 մմ, Ապահովեք փայլեցման արագությունը |
Ժամանակակից կոտրման հսկողություն | Հում եզր ≤0,5 մմ, Չիփռված, մակերեսի բարձր որակ |
Աղեղի երկարության միատեսակություն | Պրոյեկցիոն միջակայք <1,5 մմ, բացառությամբ սիլիցիումի ձողերի աղավաղման |
Մեքենայի չափսերը (մեկ մեքենա) | 4800×3020×3660 մմ |
Ընդհանուր գնահատված հզորությունը | 56 կՎտ |
Սարքավորման մեռած քաշը | 12տ |
Մեքենաների ճշգրտության ինդեքսի աղյուսակ.
Ճշգրիտ տարր | Հանդուրժողականության միջակայք |
Քառակուսի բարի լուսանցքի հանդուրժողականություն | ±0,15 մմ |
Քառակուսի բարի եզրային տիրույթ | ≤0,20 մմ |
Անկյուն քառակուսի ձողի բոլոր կողմերից | 90°±0,05° |
Քառակուսի ձողի հարթություն | ≤0,15 մմ |
Ռոբոտի կրկնվող դիրքավորման ճշգրտությունը | ±0,05 մմ |
XKH-ի ծառայություններ.
XKH-ը տրամադրում է ամբողջական ցիկլի ծառայություններ մոնոբյուրեղային սիլիկոնային երկկայան մեքենաների համար, ներառյալ սարքավորումների հարմարեցում (համատեղելի է մեծ սիլիցիումի ձողերի հետ), գործընթացի գործարկում (կտրման պարամետրերի օպտիմալացում), գործառնական ուսուցում և վաճառքից հետո աջակցություն (հիմնական մասերի մատակարարում, հեռահար ախտորոշում)՝ ապահովելով, որ հաճախորդները հասնում են բարձր եկամտաբերության (> 99%) և սպառվող ծախսերի ցածր մակարդակի օպտիմալացմանը: Առաքման ժամկետը 2-4 ամիս է։
Մանրամասն դիագրամ



