Dia300x1.0 մմ հաստությամբ շափյուղա վաֆլի C-հարթակ SSP/DSP
Վաֆլիի տուփի ներկայացում
Բյուրեղային նյութեր | 99,999% Al2O3, բարձր մաքրության, մոնոբյուրեղային, Al2O3 | |||
Բյուրեղի որակը | Ներառումները, բլոկային նշանները, երկվորյակները, գույնը, միկրո-փուչիկները և ցրման կենտրոնները գոյություն չունեն։ | |||
Տրամագիծ | 2 դյույմ | 3 դյույմ | 4 դյույմ | 6 դյույմ ~ 12 դյույմ |
50.8± 0.1 մմ | 76.2±0.2 մմ | 100±0.3 մմ | Ստանդարտ արտադրության դրույթներին համապատասխան | |
Հաստություն | 430±15 մկմ | 550±15 մկմ | 650±20 մկմ | Կարող է հարմարեցվել հաճախորդի կողմից |
Կողմնորոշում | C-հարթությունից (0001) մինչև M-հարթություն (1-100) կամ A-հարթություն (1 1-2 0) 0.2±0.1° /0.3±0.1°, R-հարթություն (1-1 0 2), A-հարթություն (1 1-2 0), M-հարթություն (1-1 0 0), ցանկացած ուղղվածություն, ցանկացած անկյուն | |||
Հիմնական հարթ երկարություն | 16.0±1 մմ | 22.0±1.0 մմ | 32.5±1.5 մմ | Ստանդարտ արտադրության դրույթներին համապատասխան |
Հիմնական հարթ կողմնորոշում | A-հարթություն (1 1-2 0) ± 0.2° | |||
TTV | ≤10 մկմ | ≤15 մկմ | ≤20 մկմ | ≤30 մկմ |
Վարկային արժեք | ≤10 մկմ | ≤15 մկմ | ≤20 մկմ | ≤30 մկմ |
TIR | ≤10 մկմ | ≤15 մկմ | ≤20 մկմ | ≤30 մկմ |
ԽԵՂ | ≤10 մկմ | ≤15 մկմ | ≤20 մկմ | ≤30 մկմ |
Warp | ≤10 մկմ | ≤15 մկմ | ≤20 մկմ | ≤30 մկմ |
Առջևի մակերես | Էպի-հղկված (Ra< 0.2 նմ) |
*Աղեղ։ Ազատ, չամրացված վեֆերի միջնամասի կենտրոնական կետի շեղումը հենակետային հարթությունից, որտեղ հենակետային հարթությունը սահմանվում է հավասարակողմ եռանկյան երեք անկյուններով։
*Ծռվածություն։ Ազատ, չամրացված վեֆլի միջնամասի առավելագույն և նվազագույն հեռավորությունների միջև տարբերությունը վերը սահմանված հենակետային հարթությունից։
Բարձրորակ արտադրանք և ծառայություններ հաջորդ սերնդի կիսահաղորդչային սարքերի և էպիտաքսիալ աճի համար.
Բարձր աստիճանի հարթություն (կառավարվող TTV, աղեղ, ծռվածք և այլն)
Բարձրորակ մաքրում (մասնիկների ցածր աղտոտում, մետաղների ցածր աղտոտում)
Հիմքի հորատում, ակոսավորում, կտրում և հետևի կողմի հղկում
Կցել տվյալներ, ինչպիսիք են հիմքի մաքրությունը և ձևը (ըստ ցանկության)
Եթե ձեզ անհրաժեշտ են շափյուղայի հիմքեր, խնդրում ենք կապվել մեզ հետ՝
փոստ՝eric@xkh-semitech.com+86 158 0194 2596 /doris@xkh-semitech.com+86 187 0175 6522
Մենք կվերադառնանք ձեզ հնարավորինս շուտ!
Մանրամասն դիագրամ

