Անհատականացված GaN-on-SiC էպիտաքսիալ վաֆլիներ (100 մմ, 150 մմ) – SiC ենթաշերտի բազմակի ընտրանքներ (4H-N, HPSI, 4H/6H-P)
Առանձնահատկություններ
●Էպիտաքսիալ շերտի հաստությունԿարգավորելի է1,0 մկմդեպի3,5 մկմ, օպտիմիզացված բարձր հզորության և հաճախականության կատարման համար:
●SiC ենթաշերտի ընտրանքներՀասանելի է տարբեր SiC սուբստրատներով, ներառյալ՝
- 4Հ-ՆԲարձրորակ ազոտով ներծծված 4H-SiC բարձր հաճախականության, բարձր էներգիայի օգտագործման համար:
- HPSIԲարձր մաքրության կիսամեկուսացնող SiC էլեկտրական մեկուսացում պահանջող կիրառությունների համար:
- 4H/6H-PԽառը 4H և 6H-SiC՝ բարձր արդյունավետության և հուսալիության հավասարակշռության համար:
●Վաֆլի չափսերՀասանելի է100 մմև150 մմտրամագծեր՝ սարքի մասշտաբման և ինտեգրման բազմակողմանիության համար:
●Բարձր վթարային լարումGaN on SiC տեխնոլոգիան ապահովում է խափանման բարձր լարում, ինչը հնարավորություն է տալիս կայուն կատարում բարձր էներգիայի ծրագրերում:
●Բարձր ջերմային հաղորդունակությունSiC-ի բնորոշ ջերմային հաղորդունակությունը (մոտ 490 W/m·K) ապահովում է ջերմության գերազանց ցրում էներգա ինտենսիվ ծրագրերի համար:
Տեխնիկական բնութագրեր
Պարամետր | Արժեք |
Վաֆլի տրամագիծը | 100 մմ, 150 մմ |
Epitaxial շերտի հաստությունը | 1,0 մկմ – 3,5 մկմ (կարգավորելի) |
SiC ենթաշերտի տեսակները | 4H-N, HPSI, 4H/6H-P |
SiC ջերմային հաղորդունակություն | 490 W/m·K |
SiC դիմադրողականություն | 4Հ-Ն10^6 Ω·սմ,HPSIԿիսամեկուսացնող,4H/6H-PԽառը 4H/6H |
GaN շերտի հաստությունը | 1,0 մկմ – 2,0 մկմ |
GaN կրիչի համակենտրոնացում | 10^18 սմ^-3-ից 10^19 սմ^-3 (հարմարեցված) |
Վաֆլի մակերեսի որակը | RMS կոպտություն< 1 նմ |
Դիսլոկացիայի խտություն | < 1 x 10^6 սմ^-2 |
Վաֆլի աղեղ | < 50 մկմ |
Վաֆլի հարթություն | < 5 մկմ |
Առավելագույն գործառնական ջերմաստիճան | 400°C (բնորոշ GaN-on-SiC սարքերի համար) |
Դիմումներ
●Power Electronics:GaN-on-SiC վաֆլիները ապահովում են բարձր արդյունավետություն և ջերմության ցրում՝ դրանք դարձնելով իդեալական ուժային ուժեղացուցիչների, էներգիայի փոխակերպման սարքերի և էլեկտրական տրանսպորտային միջոցների, վերականգնվող էներգիայի համակարգերի և արդյունաբերական մեքենաների մեջ օգտագործվող էներգիայի փոխարկիչի սխեմաների համար:
●RF Power ուժեղացուցիչներ:GaN-ի և SiC-ի համադրությունը կատարյալ է բարձր հաճախականությամբ, բարձր հզորությամբ ՌԴ կիրառությունների համար, ինչպիսիք են հեռահաղորդակցությունը, արբանյակային կապը և ռադիոտեղորոշիչ համակարգերը:
●Օդատիեզերք և պաշտպանություն.Այս վաֆլիները հարմար են օդատիեզերական և պաշտպանական տեխնոլոգիաների համար, որոնք պահանջում են բարձր արդյունավետության ուժային էլեկտրոնիկա և կապի համակարգեր, որոնք կարող են աշխատել ծանր պայմաններում:
●Ավտոմոբիլային ծրագրեր.Իդեալական է էլեկտրական մեքենաների (EVs), հիբրիդային մեքենաների (HEVs) և լիցքավորման կայանների բարձր արդյունավետության էներգահամակարգերի համար, ինչը հնարավորություն է տալիս արդյունավետ փոխարկել էներգիան և վերահսկել:
●Ռազմական և ռադիոլոկացիոն համակարգեր.GaN-on-SiC վաֆլիները օգտագործվում են ռադարային համակարգերում իրենց բարձր արդյունավետության, էներգիայի հետ աշխատելու հնարավորությունների և պահանջկոտ միջավայրերում ջերմային արդյունավետության համար:
●Միկրոալիքային և միլիմետրային ալիքային կիրառումներ.Հաջորդ սերնդի կապի համակարգերի համար, ներառյալ 5G-ը, GaN-on-SiC-ն ապահովում է օպտիմալ կատարում բարձր հզորության միկրոալիքային և միլիմետրային ալիքների միջակայքում:
Հարց ու պատասխան
Q1. Որո՞նք են SiC-ի օգտագործումը որպես GaN-ի համար հիմք:
A1:Սիլիցիումի կարբիդը (SiC) առաջարկում է բարձր ջերմային հաղորդունակություն, բարձր քայքայման լարում և մեխանիկական ուժ՝ համեմատած սիլիցիումի նման ավանդական ենթաշերտերի հետ: Սա GaN-on-SiC վաֆլիները դարձնում է իդեալական բարձր էներգիայի, բարձր հաճախականության և բարձր ջերմաստիճանի կիրառման համար: SiC ենթաշերտը օգնում է ցրել GaN սարքերի կողմից առաջացած ջերմությունը՝ բարելավելով հուսալիությունը և արդյունավետությունը:
Q2. Կարո՞ղ է էպիտաքսիալ շերտի հաստությունը հարմարեցվել հատուկ կիրառությունների համար:
A2:Այո, էպիտաքսիալ շերտի հաստությունը կարող է հարմարեցվել մի շարք սահմաններում1,0 մկմ-ից 3,5 մկմ, կախված ձեր հավելվածի հզորությունից և հաճախականությունից: Մենք կարող ենք հարմարեցնել GaN շերտի հաստությունը՝ օպտիմիզացնելու աշխատանքը հատուկ սարքերի համար, ինչպիսիք են ուժային ուժեղացուցիչները, ռադիոհաճախական համակարգերը կամ բարձր հաճախականության սխեմաները:
Q3: Ո՞րն է տարբերությունը 4H-N, HPSI և 4H/6H-P SiC սուբստրատների միջև:
A3:
- 4Հ-ՆԱզոտով ներծծված 4H-SiC-ը սովորաբար օգտագործվում է բարձր հաճախականության ծրագրերի համար, որոնք պահանջում են բարձր էլեկտրոնային կատարում:
- HPSIԲարձր մաքրության կիսամեկուսացնող SiC-ն ապահովում է էլեկտրական մեկուսացում, իդեալական այն ծրագրերի համար, որոնք պահանջում են նվազագույն էլեկտրական հաղորդունակություն:
- 4H/6H-P4H-ի և 6H-SiC-ի խառնուրդ, որը հավասարակշռում է կատարողականությունը՝ առաջարկելով բարձր արդյունավետության և ամրության համադրություն, որը հարմար է էներգիայի էլեկտրոնիկայի տարբեր ծրագրերի համար:
Q4. Արդյո՞ք այս GaN-on-SiC վաֆլիները հարմար են բարձր էներգիայի օգտագործման համար, ինչպիսիք են էլեկտրական մեքենաները և վերականգնվող էներգիան:
A4:Այո, GaN-on-SiC վաֆլիները լավ են հարմարեցված բարձր էներգիայի օգտագործման համար, ինչպիսիք են էլեկտրական մեքենաները, վերականգնվող էներգիան և արդյունաբերական համակարգերը: GaN-on-SiC սարքերի բարձր խզման լարումը, բարձր ջերմային հաղորդունակությունը և էներգիայի հետ աշխատելու հնարավորությունները թույլ են տալիս արդյունավետորեն աշխատել էներգիայի փոխակերպման և հսկողության պահանջարկ ունեցող սխեմաներում:
Q5. Ո՞րն է այս վաֆլիների տեղակայման բնորոշ խտությունը:
A5:Այս GaN-on-SiC վաֆլիների տեղահանման խտությունը սովորաբար նման է< 1 x 10^6 սմ^-2, որն ապահովում է բարձրորակ էպիտաքսիալ աճ՝ նվազագույնի հասցնելով թերությունները և բարելավելով սարքի աշխատանքը և հուսալիությունը:
Q6. Կարո՞ղ եմ պահանջել վաֆլի հատուկ չափս կամ SiC սուբստրատի տեսակ:
A6:Այո, մենք առաջարկում ենք հարմարեցված վաֆլի չափսեր (100 մմ և 150 մմ) և SiC ենթաշերտի տեսակներ (4H-N, HPSI, 4H/6H-P)՝ ձեր հավելվածի հատուկ կարիքները բավարարելու համար: Խնդրում ենք կապնվել մեզ հետ անհատականացման հետագա տարբերակների և ձեր պահանջները քննարկելու համար:
Q7. Ինչպե՞ս են GaN-on-SiC վաֆլիները գործում ծայրահեղ միջավայրում:
A7:GaN-on-SiC վաֆլիները իդեալական են էքստրեմալ միջավայրերի համար՝ շնորհիվ իրենց բարձր ջերմային կայունության, բարձր էներգիայի կառավարման և ջերմության ցրման գերազանց հնարավորությունների: Այս վաֆլիները լավ են գործում բարձր ջերմաստիճանի, հզորության և բարձր հաճախականության պայմաններում, որոնք սովորաբար հանդիպում են օդատիեզերական, պաշտպանական և արդյունաբերական կիրառություններում:
Եզրակացություն
Մեր հարմարեցված GaN-on-SiC Epitaxial վաֆլիները համատեղում են GaN-ի և SiC-ի առաջադեմ հատկությունները` ապահովելու բարձր արդյունավետություն բարձր էներգիայի և բարձր հաճախականության ծրագրերում: SiC սուբստրատի բազմաթիվ ընտրանքներով և հարմարեցվող էպիտաքսիալ շերտերով այս վաֆլիները իդեալական են այն ոլորտների համար, որոնք պահանջում են բարձր արդյունավետություն, ջերմային կառավարում և հուսալիություն: Անկախ նրանից, թե էներգիայի էլեկտրոնիկայի, ռադիոհաճախականության համակարգերի կամ պաշտպանական կիրառությունների համար մեր GaN-on-SiC վաֆլիներն առաջարկում են ձեզ անհրաժեշտ արդյունավետությունն ու ճկունությունը:
Մանրամասն դիագրամ



