Աճեցված շափյուղայի բուլ ձուլակտորի բյուրեղյա մեթոդ
Մանրամասն դիագրամ
Ընդհանուր տեսք
A շափյուղա բուլալյումինի օքսիդի (Al₂O₃) մեծ, աճեցված միաբյուրեղ է, որը ծառայում է որպես վերին հոսանքի հումք՝ շափյուղայի վեֆլերի, օպտիկական պատուհանների, մաշվածությանը դիմացկուն մասերի և թանկարժեք քարերի մշակման համար։Մոհս 9 կարծրություն, գերազանց ջերմային կայունություն(հալման կետ՝ ~2050 °C), ևլայնաշերտ թափանցիկությունՈւլտրամանուշակագույնից մինչև միջին ինֆրակարմիր ճառագայթներ, շափյուղան այն չափանիշն է, որտեղ պետք է համակեցություն ունենան դիմացկունությունը, մաքրությունը և օպտիկական որակը։
Մենք մատակարարում ենք անգույն և լեգիրված շափյուղայի բուլներ, որոնք արտադրվում են արդյունաբերության մեջ ապացուցված աճի մեթոդներով, օպտիմալացվածGaN/AlGaN էպիտաքսիա, ճշգրիտ օպտիկա, ևբարձր հուսալիության արդյունաբերական բաղադրիչներ.
Ինչո՞ւ մեզանից Sapphire Boule
-
Բյուրեղի որակը նախևառաջ.ցածր ներքին լարում, փուչիկների/զոլերի ցածր պարունակություն, հոսանքն ի վար կտրատման և էպիտաքսիայի համար խիստ կողմնորոշման կառավարում։
-
Գործընթացի ճկունություն.KY/HEM/CZ/Vernoil աճի տարբերակներ՝ ձեր կիրառման չափը, լարվածությունը և արժեքը հավասարակշռելու համար։
-
Մասշտաբային երկրաչափություն՝գլանաձև, գազարի ձև ունեցող կամ բլոկային բուլեր՝ հատուկ հարթ մասերով, սերմերի/ծայրերի մշակումներով և հենակետային հարթություններով։
-
Հետևելի և կրկնելի՝խմբաքանակի գրառումներ, չափագիտական զեկույցներ և ընդունման չափանիշներ՝ համապատասխանեցված ձեր սպեցիֆիկացիաներին։
Աճի տեխնոլոգիաներ
-
Կենտուկի (Կիրոպուլոս):Մեծ տրամագծով, ցածր լարման կրող բուլեր; նախընտրելի են էպի-դասակարգի թիթեղների և օպտիկայի համար, որտեղ կարևոր է կրկնակի բեկման միատարրությունը։
-
Ջերմափոխանակիչի մեթոդ (HEM):Գերազանց ջերմային գրադիենտներ և լարվածության կառավարում; գրավիչ է հաստ օպտիկայի և պրեմիում էպի-էպի հումքի համար։
-
Չեխիա (Չոխրալսկի):Կողմնորոշման և վերարտադրելիության ուժեղ վերահսկողություն; լավ ընտրություն հետևողական, բարձր արտադրողականությամբ կտրատման համար։
-
Վերնոյ (Բոցի միաձուլում):Արդյունավետ է ծախսարդյունավետ, բարձր արտադրողականությամբ; հարմար է ընդհանուր օպտիկայի, մեխանիկական մասերի և թանկարժեք քարերի նախաձևերի համար։
Բյուրեղների կողմնորոշում, երկրաչափություն և չափս
-
Ստանդարտ կողմնորոշումներ՝ c-հարթություն (0001), ինքնաթիռ (11-20), r-հարթություն (1-102), մ-հարթություն (10-10); հասանելի են պատվերով պատրաստված ինքնաթիռներ։
-
Կողմնորոշման ճշգրտությունը՝≤ ±0.1° Լաուե/Ռենտգենյան ճառագայթով (ավելի ամուր՝ պահանջով):
-
Ձևեր՝գլանաձև կամ գազարի տիպի բուլեր, քառակուսի/ուղղանկյուն բլոկներ և ձողեր։
-
Ծրարի տիպիկ չափսը՝ Ø30–220 մմ, երկարությունը՝ 50–400 մմ(մեծ/փոքր չափսերով՝ պատվերով պատրաստված):
-
Վերջնական/հղման առանձնահատկություններ՝սերմի/վերջի մակերեսի մշակում, հենակետային հարթ մասեր/ակոսներ և հիմնական մասեր՝ հոսանքն ի վար հավասարեցման համար։
Նյութական և օպտիկական հատկություններ
-
Կազմը:Միաբյուրեղային Al₂O₃, հումքի մաքրություն ≥ 99.99%:
-
Խտություն՝~3.98 գ/սմ³
-
Կարծրություն:Մոհս 9
-
Բեկման ցուցիչ (589 նմ): նₒ≈ 1.768,nₑ≈ 1.760 (բացասական միառանցք; Δn ≈ 0.008)
-
Փոխանցման պատուհան. Ուլտրամանուշակագույն ճառագայթում մինչև ~5 մկմ(կախված հաստությունից և խառնուրդներից)
-
Ջերմահաղորդականություն (300 Կ):~25 Վ·մ⁻¹·Կ⁻¹
-
Ցերեկային ջերմաստիճան (20–300 °C):~5–8 × 10⁻⁶ /K (կախված կողմնորոշումից)
-
Յունգի մոդուլը.~345 ԳՊա
-
Էլեկտրական:Բարձր ջերմամեկուսիչ հատկություններ (ծավալային դիմադրությունը սովորաբար ≥ 10¹⁴ Ω·սմ)
Գնահատականներ և տարբերակներ
-
Էպիտաքսիայի աստիճան՝Բարձր ելքով GaN/AlGaN MOCVD վեֆլերի համար (2–8 դյույմ և ավելի՝ հոսանքն ի վար) գերցածր փուչիկներ/զոլեր և նվազագույնի հասցված լարվածության կրկնակի բեկում։
-
Օպտիկական աստիճան՝Բարձր ներքին թափանցելիություն և միատարրություն պատուհանների, ոսպնյակների և ինֆրակարմիր դիտանցքների համար։
-
Ընդհանուր/Մեխանիկական աստիճան:Երկարակյաց, ծախսարդյունավետ հումք ժամացույցի բյուրեղների, կոճակների, մաշվող մասերի և պատյանների համար։
-
Դեղորայք/Գույն:
-
Անգույն(ստանդարտ)
Cr:Al₂O₃(ռուբին),Ti:Al₂O₃(Ti: շափյուղա) նախաձևեր
Այլ քրոմոֆորներ (Fe/Ti)՝ ըստ պահանջի
-
Դիմումներ
Կիսահաղորդիչ. GaN լուսադիոդների, միկրո-լուսադիոդների, հզորության HEMT-ների, ռադիոհաճախականության սարքերի (սապֆիրային վաֆլի հումք) հիմքեր։
Օպտիկա և ֆոտոնիկա. Բարձր ջերմաստիճանի/ճնշման պատուհաններ, ինֆրակարմիր դիտման պատուհաններ, լազերային խոռոչի պատուհաններ, դետեկտորի պատյաններ։
Սպառողական և կրելի ապրանքներ. ժամացույցի բյուրեղներ, տեսախցիկի օբյեկտիվի պատյաններ, մատնահետքի սկաների պատյաններ, բարձրորակ արտաքին մասեր։
Արդյունաբերական և ավիատիեզերական. Ծայրակալներ, փականների նստատեղեր, կնքման օղակներ, պաշտպանիչ պատուհաններ և դիտման անցքեր։
Լազերային/բյուրեղային աճ. Ti:sapphire և ruby hosts լեգիրված բյուրեղներից։
Տվյալների համառոտ նկարագրություն (տիպիկ, հղման համար)
| Պարամետր | Արժեք (տիպիկ) |
|---|---|
| Կոմպոզիցիա | Միաբյուրեղային Al₂O₃ (≥ 99.99% մաքրություն) |
| Կողմնորոշում | c / a / r / m (պատվերով) |
| Ինդեքս @ 589 նմ | նₒ≈ 1.768,nₑ≈ 1.760 |
| Փոխանցման միջակայք | ~0.2–5 մկմ (կախված հաստությունից) |
| Ջերմահաղորդականություն | ~25 Վտ·մ⁻¹·Կ⁻¹ (300 Կ) |
| Ցերեկային ջերմաստիճան (20–300 °C) | ~5–8 × 10⁻⁶/կ |
| Յունգի մոդուլը | ~345 ԳՊա |
| Խտություն | ~3.98 գ/սմ³ |
| Կարծրություն | Մոհս 9 |
| Էլեկտրական | Մեկուսիչ; ծավալային դիմադրություն ≥ 10¹⁴ Ω·սմ |
Սապֆիրային վաֆլի արտադրության գործընթաց
-
Բյուրեղների աճ
Բարձր մաքրության ալյումինան (Al₂O₃) հալվում և վերածվում է մեկ շափյուղայի բյուրեղյա ձուլակտորի՝ օգտագործելով հետևյալը.Կիրոպուլոս (Կենտուկի) or Չոչրալսկի (Չեխիա)մեթոդ -
Ձուլակտորների մշակում
Ձուլակտորը մեքենայով մշակվում է ստանդարտ ձևի՝ կտրում, տրամագծի ձևավորում և ծայրային մակերեսի մշակում: -
Կտրատում
Սապֆիրի ձուլակտորը կտրատվում է բարակ վաֆլիների՝ օգտագործելովադամանդե մետաղալարե սղոց. -
Երկկողմանի լափինգ
Վաֆլիի երկու կողմերը հղկվում են՝ սղոցի հետքերը հեռացնելու և միատարր հաստություն ստանալու համար։ -
թրծում
Վաֆլիները ջերմային մշակում են անցնում՝ներքին լարվածության թեթևացումև բարելավել բյուրեղների որակը և թափանցիկությունը։ -
Եզրերի հղկում
Վաֆլիի եզրերը թեքված են՝ հետագա մշակման ընթացքում չիպսերը և ճաքերը կանխելու համար: -
Մոնտաժ
Վաֆլիները ամրացվում են կրիչների կամ պահիչների վրա՝ ճշգրիտ հղկման և ստուգման համար: -
DMP (Երկկողմանի մեխանիկական հղկում)
Վաֆլիի մակերեսները մեխանիկորեն հղկվում են՝ մակերեսի հարթությունը բարելավելու համար։ -
Քիմիական մեխանիկական հղկում (CMP)
Նուրբ հղկման քայլ, որը համատեղում է քիմիական և մեխանիկական գործողությունները՝ ստեղծելու համարհայելու նման մակերես. -
Տեսողական ստուգում
Օպերատորները կամ ավտոմատացված համակարգերը ստուգում են տեսանելի մակերեսային թերությունները։ -
Հարթության ստուգում
Չափերի ճշգրտությունն ապահովելու համար չափվում են հարթությունը և հաստության միատարրությունը։ -
RCA մաքրում
Ստանդարտ քիմիական մաքրումը հեռացնում է օրգանական, մետաղական և մասնիկային աղտոտիչները։ -
Մաքրող մեքենաների մաքրում
Մեխանիկական մաքրումը հեռացնում է մնացորդային մանրադիտակային մասնիկները։ -
Մակերեսային արատների ստուգում
Ավտոմատացված օպտիկական ստուգումը հայտնաբերում է միկրոթերություններ, ինչպիսիք են քերծվածքները, փոսիկները կամ աղտոտվածությունը։

-
Բյուրեղների աճ
Բարձր մաքրության ալյումինան (Al₂O₃) հալվում և վերածվում է մեկ շափյուղայի բյուրեղյա ձուլակտորի՝ օգտագործելով հետևյալը.Կիրոպուլոս (Կենտուկի) or Չոչրալսկի (Չեխիա)մեթոդ -
Ձուլակտորների մշակում
Ձուլակտորը մեքենայով մշակվում է ստանդարտ ձևի՝ կտրում, տրամագծի ձևավորում և ծայրային մակերեսի մշակում: -
Կտրատում
Սապֆիրի ձուլակտորը կտրատվում է բարակ վաֆլիների՝ օգտագործելովադամանդե մետաղալարե սղոց. -
Երկկողմանի լափինգ
Վաֆլիի երկու կողմերը հղկվում են՝ սղոցի հետքերը հեռացնելու և միատարր հաստություն ստանալու համար։ -
թրծում
Վաֆլիները ջերմային մշակում են անցնում՝ներքին լարվածության թեթևացումև բարելավել բյուրեղների որակը և թափանցիկությունը։ -
Եզրերի հղկում
Վաֆլիի եզրերը թեքված են՝ հետագա մշակման ընթացքում չիպսերը և ճաքերը կանխելու համար: -
Մոնտաժ
Վաֆլիները ամրացվում են կրիչների կամ պահիչների վրա՝ ճշգրիտ հղկման և ստուգման համար: -
DMP (Երկկողմանի մեխանիկական հղկում)
Վաֆլիի մակերեսները մեխանիկորեն հղկվում են՝ մակերեսի հարթությունը բարելավելու համար։ -
Քիմիական մեխանիկական հղկում (CMP)
Նուրբ հղկման քայլ, որը համատեղում է քիմիական և մեխանիկական գործողությունները՝ ստեղծելու համարհայելու նման մակերես. -
Տեսողական ստուգում
Օպերատորները կամ ավտոմատացված համակարգերը ստուգում են տեսանելի մակերեսային թերությունները։ -
Հարթության ստուգում
Չափերի ճշգրտությունն ապահովելու համար չափվում են հարթությունը և հաստության միատարրությունը։ -
RCA մաքրում
Ստանդարտ քիմիական մաքրումը հեռացնում է օրգանական, մետաղական և մասնիկային աղտոտիչները։ -
Մաքրող մեքենաների մաքրում
Մեխանիկական մաքրումը հեռացնում է մնացորդային մանրադիտակային մասնիկները։ -
Մակերեսային արատների ստուգում
Ավտոմատացված օպտիկական ստուգումը հայտնաբերում է միկրոթերություններ, ինչպիսիք են քերծվածքները, փոսիկները կամ աղտոտվածությունը։ 
Սապֆիրային բուլ (միաբյուրեղյա Al₂O₃) — Հաճախակի տրվող հարցեր
Հարց 1. Ի՞նչ է սափրեյ բուլը։
Ա. Ալյումինի օքսիդի (Al₂O₃) աճեցված միաբյուրեղ: Այն վերին հոսանքի «ձուլակտոր» է, որն օգտագործվում է շափյուղայի վեֆլերների, օպտիկական պատուհանների և մաշվածության դիմացկուն բաղադրիչների պատրաստման համար:
Հարց 2. Ինչպե՞ս է բուլը կապված վաֆլիների կամ պատուհանների հետ։
Ա. Բուլը կողմնորոշվում է → կտրատվում → հղկվում → հղկվում է՝ էպի-դասի վաֆլիներ կամ օպտիկական/մեխանիկական մասեր ստանալու համար: Աղբյուրի բուլի միատարրությունը ուժեղ ազդեցություն ունի ներքևի հոսանքի ելքի վրա:
Հարց 3. Ի՞նչ աճեցման մեթոդներ են հասանելի և ինչո՞վ են դրանք տարբերվում:
A: Կենտուկի (Կիրոպուլոս)ևՀԵՄմեծ բերքատվություն,ցածր սթրեսայինբուլեր՝ նախընտրելի է էպիտաքսիայի և բարձրակարգ օպտիկայի համար։ՉԶ (Չոխրալսկի)առաջարկում է գերազանցկողմնորոշման կառավարումև խմբաքանակից խմբաքանակ համապատասխանություն։Վերնոյ (բոցի միաձուլում) is ծախսարդյունավետընդհանուր օպտիկայի և թանկարժեք քարերի նախաձևերի համար։
Հ4. Ի՞նչ կողմնորոշումներ եք մատակարարում: Ի՞նչ ճշգրտություն է բնորոշ:
A: c-հարթություն (0001), a-հարթություն (11-20), r-հարթություն (1-102), m-հարթություն (10-10)և սովորույթներ։ Կողմնորոշման ճշգրտությունը սովորաբար≤ ±0.1°Ստուգված է Laue/XRD-ի կողմից (ավելի ամուր՝ պահանջով):
Օպտիկական կարգի բյուրեղներ՝ պատասխանատու ներքին թափոնների կառավարմամբ
Մեր բոլոր սափրեյֆե գնդիկները արտադրվում ենօպտիկական աստիճան, ապահովելով բարձր թափանցելիություն, ամուր միատարրություն և ցածր ներառում/պղպջակների և դիսլոկացիաների խտություն պահանջկոտ օպտիկայի և էլեկտրոնիկայի համար: Մենք վերահսկում ենք բյուրեղների կողմնորոշումը և կրկնակի բեկումը սկզբնականից մինչև բյուրեղ՝ ապահովելով խմբաքանակի լիարժեք հետևողականություն և համապատասխանություն բոլոր խմբաքանակներում: Չափերը, կողմնորոշումները (c-, a-, r-հարթություն) և հանդուրժողականությունները կարող են հարմարեցվել ձեր կտրման/փայլեցման կարիքներին համապատասխան:
Կարևոր է նշել, որ ցանկացած նյութ, որը չի համապատասխանում պահանջներին,ամբողջությամբ մշակվում է տեղումփակ ցիկլի աշխատանքային հոսքի միջոցով՝ տեսակավորված, վերամշակված և պատասխանատու կերպով հեռացված, որպեսզի դուք ստանաք հուսալի որակ՝ առանց մշակման կամ համապատասխանության բեռի: Այս մոտեցումը նվազեցնում է ռիսկերը, կրճատում է պատրաստման ժամկետները և աջակցում է ձեր կայուն զարգացման նպատակներին:
| Ձուլակտորի քաշի գոտի (կգ) | 2 դյույմ | 4 դյույմ | 6 դյույմ | 8 դյույմ | 12 դյույմ | Նշումներ |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 10–30 | Հարմար | Հարմար | Սահմանափակ/հնարավոր | Ոչ տիպիկ | Չի օգտագործվել | Փոքր ձևաչափի կտրատում; 6 դյույմը կախված է օգտագործելի տրամագծից/երկարությունից։ |
| 30–80 | Հարմար | Հարմար | Հարմար | Սահմանափակ/հնարավոր | Ոչ տիպիկ | Լայն կիրառություն; երբեմն-երբեմն՝ 8 դյույմանոց փորձնական հողամասեր։ |
| 80–150 | Հարմար | Հարմար | Հարմար | Հարմար | Ոչ տիպիկ | Լավ հավասարակշռություն 6–8 դյույմ արտադրության համար։ |
| 150–250 | Հարմար | Հարմար | Հարմար | Հարմար | Սահմանափակ/Հետազոտություն և զարգացում | Աջակցում է սկզբնական 12 դյույմանոց փորձարկումներին խիստ տեխնիկական բնութագրերով։ |
| 250–300 | Հարմար | Հարմար | Հարմար | Հարմար | Սահմանափակ/խիստ սահմանված | Բարձր ծավալի 8 դյույմ; ընտրովի 12 դյույմ հոսքագծեր։ |
| >300 | Հարմար | Հարմար | Հարմար | Հարմար | Հարմար | Սահմանային մասշտաբի; 12 դյույմ հնարավոր է խիստ միատարրության/արտադրողականության վերահսկմամբ։ |











