Աճեցված շափյուղայի բուլ ձուլակտորի բյուրեղյա մեթոդ

Կարճ նկարագրություն՝

An աճեցված շափյուղայի բուլմիաբյուրեղյա շափյուղայի ձուլակտոր է, որը արտադրվում է անմիջապես աճեցման վառարանից և մատակարարվում է երկրորդային մշակումից առաջ, ինչպիսիք են կողմնորոշումը, կտրատումը կամ հղկումը: Այն առաջարկում է բացառիկ կարծրություն, քիմիական իներտություն, բարձր ջերմային կայունություն և լայն օպտիկական թափանցիկություն ուլտրամանուշակագույնից մինչև ինֆրակարմիր ճառագայթում: Այս հատկությունները այն դարձնում են իդեալական մեկնարկային նյութ պատուհանների, թիթեղների/հիմքերի, ոսպնյակների և պաշտպանիչ ծածկույթների արտադրության համար: Տիպիկ վերջնական կիրառությունները ներառում են LED և լազերային բաղադրիչներ, ինֆրակարմիր/տեսանելի պատուհաններ, մաշվածությանը դիմացկուն ժամացույցների և գործիքների թվատախտակներ, ինչպես նաև RF, սենսորների և այլ էլեկտրոնային սարքերի հիմքեր: Բուլերը սովորաբար դասակարգվում են բյուրեղների կողմնորոշմամբ, տրամագծով/երկարությամբ, տեղաշարժով կամ արատի խտությամբ, գույնի միատարրությամբ և ներառումներով, իսկ հաճախորդի պահանջներին համապատասխան կողմնորոշման և կտրման համար հասանելի են լրացուցիչ ծառայություններ:


  • :
  • :
  • Հատկանիշներ

    Ձուլակտորի որակը

    ձուլակտորի չափսը

    Ձուլակտորի լուսանկար

    Մանրամասն դիագրամ

    շափյուղայի ձուլակտոր 11
    շափյուղայի ձուլակտոր 08
    ինչպես աճեցված շափյուղայի ձուլակտոր01

    Ընդհանուր տեսք

    A շափյուղա բուլալյումինի օքսիդի (Al₂O₃) մեծ, աճեցված միաբյուրեղ է, որը ծառայում է որպես վերին հոսանքի հումք՝ շափյուղայի վեֆլերի, օպտիկական պատուհանների, մաշվածությանը դիմացկուն մասերի և թանկարժեք քարերի մշակման համար։Մոհս 9 կարծրություն, գերազանց ջերմային կայունություն(հալման կետ՝ ~2050 °C), ևլայնաշերտ թափանցիկությունՈւլտրամանուշակագույնից մինչև միջին ինֆրակարմիր ճառագայթներ, շափյուղան այն չափանիշն է, որտեղ պետք է համակեցություն ունենան դիմացկունությունը, մաքրությունը և օպտիկական որակը։

    Մենք մատակարարում ենք անգույն և լեգիրված շափյուղայի բուլներ, որոնք արտադրվում են արդյունաբերության մեջ ապացուցված աճի մեթոդներով, օպտիմալացվածGaN/AlGaN էպիտաքսիա, ճշգրիտ օպտիկա, ևբարձր հուսալիության արդյունաբերական բաղադրիչներ.

    Ինչո՞ւ մեզանից Sapphire Boule

    • Բյուրեղի որակը նախևառաջ.ցածր ներքին լարում, փուչիկների/զոլերի ցածր պարունակություն, հոսանքն ի վար կտրատման և էպիտաքսիայի համար խիստ կողմնորոշման կառավարում։

    • Գործընթացի ճկունություն.KY/HEM/CZ/Vernoil աճի տարբերակներ՝ ձեր կիրառման չափը, լարվածությունը և արժեքը հավասարակշռելու համար։

    • Մասշտաբային երկրաչափություն՝գլանաձև, գազարի ձև ունեցող կամ բլոկային բուլեր՝ հատուկ հարթ մասերով, սերմերի/ծայրերի մշակումներով և հենակետային հարթություններով։

    • Հետևելի և կրկնելի՝խմբաքանակի գրառումներ, չափագիտական ​​զեկույցներ և ընդունման չափանիշներ՝ համապատասխանեցված ձեր սպեցիֆիկացիաներին։

    Աճի տեխնոլոգիաներ

    • Կենտուկի (Կիրոպուլոս):Մեծ տրամագծով, ցածր լարման կրող բուլեր; նախընտրելի են էպի-դասակարգի թիթեղների և օպտիկայի համար, որտեղ կարևոր է կրկնակի բեկման միատարրությունը։

    • Ջերմափոխանակիչի մեթոդ (HEM):Գերազանց ջերմային գրադիենտներ և լարվածության կառավարում; գրավիչ է հաստ օպտիկայի և պրեմիում էպի-էպի հումքի համար։

    • Չեխիա (Չոխրալսկի):Կողմնորոշման և վերարտադրելիության ուժեղ վերահսկողություն; լավ ընտրություն հետևողական, բարձր արտադրողականությամբ կտրատման համար։

    • Վերնոյ (Բոցի միաձուլում):Արդյունավետ է ծախսարդյունավետ, բարձր արտադրողականությամբ; հարմար է ընդհանուր օպտիկայի, մեխանիկական մասերի և թանկարժեք քարերի նախաձևերի համար։

    Բյուրեղների կողմնորոշում, երկրաչափություն և չափս

    • Ստանդարտ կողմնորոշումներ՝ c-հարթություն (0001), ինքնաթիռ (11-20), r-հարթություն (1-102), մ-հարթություն (10-10); հասանելի են պատվերով պատրաստված ինքնաթիռներ։

    • Կողմնորոշման ճշգրտությունը՝≤ ±0.1° Լաուե/Ռենտգենյան ճառագայթով (ավելի ամուր՝ պահանջով):

    • Ձևեր՝գլանաձև կամ գազարի տիպի բուլեր, քառակուսի/ուղղանկյուն բլոկներ և ձողեր։

    • Ծրարի տիպիկ չափսը՝ Ø30–220 մմ, երկարությունը՝ 50–400 մմ(մեծ/փոքր չափսերով՝ պատվերով պատրաստված):

    • Վերջնական/հղման առանձնահատկություններ՝սերմի/վերջի մակերեսի մշակում, հենակետային հարթ մասեր/ակոսներ և հիմնական մասեր՝ հոսանքն ի վար հավասարեցման համար։

    Նյութական և օպտիկական հատկություններ

    • Կազմը:Միաբյուրեղային Al₂O₃, հումքի մաքրություն ≥ 99.99%:

    • Խտություն՝~3.98 գ/սմ³

    • Կարծրություն:Մոհս 9

    • Բեկման ցուցիչ (589 նմ): նₒ≈ 1.768,nₑ≈ 1.760 (բացասական միառանցք; Δn ≈ 0.008)

    • Փոխանցման պատուհան. Ուլտրամանուշակագույն ճառագայթում մինչև ~5 մկմ(կախված հաստությունից և խառնուրդներից)

    • Ջերմահաղորդականություն (300 Կ):~25 Վ·մ⁻¹·Կ⁻¹

    • Ցերեկային ջերմաստիճան (20–300 °C):~5–8 × 10⁻⁶ /K (կախված կողմնորոշումից)

    • Յունգի մոդուլը.~345 ԳՊա

    • Էլեկտրական:Բարձր ջերմամեկուսիչ հատկություններ (ծավալային դիմադրությունը սովորաբար ≥ 10¹⁴ Ω·սմ)

    Գնահատականներ և տարբերակներ

    • Էպիտաքսիայի աստիճան՝Բարձր ելքով GaN/AlGaN MOCVD վեֆլերի համար (2–8 դյույմ և ավելի՝ հոսանքն ի վար) գերցածր փուչիկներ/զոլեր և նվազագույնի հասցված լարվածության կրկնակի բեկում։

    • Օպտիկական աստիճան՝Բարձր ներքին թափանցելիություն և միատարրություն պատուհանների, ոսպնյակների և ինֆրակարմիր դիտանցքների համար։

    • Ընդհանուր/Մեխանիկական աստիճան:Երկարակյաց, ծախսարդյունավետ հումք ժամացույցի բյուրեղների, կոճակների, մաշվող մասերի և պատյանների համար։

    • Դեղորայք/Գույն:

      • Անգույն(ստանդարտ)
        Cr:Al₂O₃(ռուբին),Ti:Al₂O₃(Ti: շափյուղա) նախաձևեր
        Այլ քրոմոֆորներ (Fe/Ti)՝ ըստ պահանջի

    Դիմումներ

    Կիսահաղորդիչ. GaN լուսադիոդների, միկրո-լուսադիոդների, հզորության HEMT-ների, ռադիոհաճախականության սարքերի (սապֆիրային վաֆլի հումք) հիմքեր։

    Օպտիկա և ֆոտոնիկա. Բարձր ջերմաստիճանի/ճնշման պատուհաններ, ինֆրակարմիր դիտման պատուհաններ, լազերային խոռոչի պատուհաններ, դետեկտորի պատյաններ։

    Սպառողական և կրելի ապրանքներ. ժամացույցի բյուրեղներ, տեսախցիկի օբյեկտիվի պատյաններ, մատնահետքի սկաների պատյաններ, բարձրորակ արտաքին մասեր։

    Արդյունաբերական և ավիատիեզերական. Ծայրակալներ, փականների նստատեղեր, կնքման օղակներ, պաշտպանիչ պատուհաններ և դիտման անցքեր։

    Լազերային/բյուրեղային աճ. Ti:sapphire և ruby ​​​​hosts լեգիրված բյուրեղներից։

    Տվյալների համառոտ նկարագրություն (տիպիկ, հղման համար)

    Պարամետր Արժեք (տիպիկ)
    Կոմպոզիցիա Միաբյուրեղային Al₂O₃ (≥ 99.99% մաքրություն)
    Կողմնորոշում c / a / r / m (պատվերով)
    Ինդեքս @ 589 նմ նₒ≈ 1.768,nₑ≈ 1.760
    Փոխանցման միջակայք ~0.2–5 մկմ (կախված հաստությունից)
    Ջերմահաղորդականություն ~25 Վտ·մ⁻¹·Կ⁻¹ (300 Կ)
    Ցերեկային ջերմաստիճան (20–300 °C) ~5–8 × 10⁻⁶/կ
    Յունգի մոդուլը ~345 ԳՊա
    Խտություն ~3.98 գ/սմ³
    Կարծրություն Մոհս 9
    Էլեկտրական Մեկուսիչ; ծավալային դիմադրություն ≥ 10¹⁴ Ω·սմ

     

    Սապֆիրային վաֆլի արտադրության գործընթաց

    1. Բյուրեղների աճ
      Բարձր մաքրության ալյումինան (Al₂O₃) հալվում և վերածվում է մեկ շափյուղայի բյուրեղյա ձուլակտորի՝ օգտագործելով հետևյալը.Կիրոպուլոս (Կենտուկի) or Չոչրալսկի (Չեխիա)մեթոդ

    2. Ձուլակտորների մշակում
      Ձուլակտորը մեքենայով մշակվում է ստանդարտ ձևի՝ կտրում, տրամագծի ձևավորում և ծայրային մակերեսի մշակում:

    3. Կտրատում
      Սապֆիրի ձուլակտորը կտրատվում է բարակ վաֆլիների՝ օգտագործելովադամանդե մետաղալարե սղոց.

    4. Երկկողմանի լափինգ
      Վաֆլիի երկու կողմերը հղկվում են՝ սղոցի հետքերը հեռացնելու և միատարր հաստություն ստանալու համար։

    5. թրծում
      Վաֆլիները ջերմային մշակում են անցնում՝ներքին լարվածության թեթևացումև բարելավել բյուրեղների որակը և թափանցիկությունը։

    6. Եզրերի հղկում
      Վաֆլիի եզրերը թեքված են՝ հետագա մշակման ընթացքում չիպսերը և ճաքերը կանխելու համար:

    7. Մոնտաժ
      Վաֆլիները ամրացվում են կրիչների կամ պահիչների վրա՝ ճշգրիտ հղկման և ստուգման համար:

    8. DMP (Երկկողմանի մեխանիկական հղկում)
      Վաֆլիի մակերեսները մեխանիկորեն հղկվում են՝ մակերեսի հարթությունը բարելավելու համար։

    9. Քիմիական մեխանիկական հղկում (CMP)
      Նուրբ հղկման քայլ, որը համատեղում է քիմիական և մեխանիկական գործողությունները՝ ստեղծելու համարհայելու նման մակերես.

    10. Տեսողական ստուգում
      Օպերատորները կամ ավտոմատացված համակարգերը ստուգում են տեսանելի մակերեսային թերությունները։

    11. Հարթության ստուգում
      Չափերի ճշգրտությունն ապահովելու համար չափվում են հարթությունը և հաստության միատարրությունը։

    12. RCA մաքրում
      Ստանդարտ քիմիական մաքրումը հեռացնում է օրգանական, մետաղական և մասնիկային աղտոտիչները։

    13. Մաքրող մեքենաների մաքրում
      Մեխանիկական մաքրումը հեռացնում է մնացորդային մանրադիտակային մասնիկները։

    14. Մակերեսային արատների ստուգում
      Ավտոմատացված օպտիկական ստուգումը հայտնաբերում է միկրոթերություններ, ինչպիսիք են քերծվածքները, փոսիկները կամ աղտոտվածությունը։

     

    1. Բյուրեղների աճ
      Բարձր մաքրության ալյումինան (Al₂O₃) հալվում և վերածվում է մեկ շափյուղայի բյուրեղյա ձուլակտորի՝ օգտագործելով հետևյալը.Կիրոպուլոս (Կենտուկի) or Չոչրալսկի (Չեխիա)մեթոդ

    2. Ձուլակտորների մշակում
      Ձուլակտորը մեքենայով մշակվում է ստանդարտ ձևի՝ կտրում, տրամագծի ձևավորում և ծայրային մակերեսի մշակում:

    3. Կտրատում
      Սապֆիրի ձուլակտորը կտրատվում է բարակ վաֆլիների՝ օգտագործելովադամանդե մետաղալարե սղոց.

    4. Երկկողմանի լափինգ
      Վաֆլիի երկու կողմերը հղկվում են՝ սղոցի հետքերը հեռացնելու և միատարր հաստություն ստանալու համար։

    5. թրծում
      Վաֆլիները ջերմային մշակում են անցնում՝ներքին լարվածության թեթևացումև բարելավել բյուրեղների որակը և թափանցիկությունը։

    6. Եզրերի հղկում
      Վաֆլիի եզրերը թեքված են՝ հետագա մշակման ընթացքում չիպսերը և ճաքերը կանխելու համար:

    7. Մոնտաժ
      Վաֆլիները ամրացվում են կրիչների կամ պահիչների վրա՝ ճշգրիտ հղկման և ստուգման համար:

    8. DMP (Երկկողմանի մեխանիկական հղկում)
      Վաֆլիի մակերեսները մեխանիկորեն հղկվում են՝ մակերեսի հարթությունը բարելավելու համար։

    9. Քիմիական մեխանիկական հղկում (CMP)
      Նուրբ հղկման քայլ, որը համատեղում է քիմիական և մեխանիկական գործողությունները՝ ստեղծելու համարհայելու նման մակերես.

    10. Տեսողական ստուգում
      Օպերատորները կամ ավտոմատացված համակարգերը ստուգում են տեսանելի մակերեսային թերությունները։

    11. Հարթության ստուգում
      Չափերի ճշգրտությունն ապահովելու համար չափվում են հարթությունը և հաստության միատարրությունը։

    12. RCA մաքրում
      Ստանդարտ քիմիական մաքրումը հեռացնում է օրգանական, մետաղական և մասնիկային աղտոտիչները։

    13. Մաքրող մեքենաների մաքրում
      Մեխանիկական մաքրումը հեռացնում է մնացորդային մանրադիտակային մասնիկները։

    14. Մակերեսային արատների ստուգում
      Ավտոմատացված օպտիկական ստուգումը հայտնաբերում է միկրոթերություններ, ինչպիսիք են քերծվածքները, փոսիկները կամ աղտոտվածությունը։

    Սապֆիրային բուլ (միաբյուրեղյա Al₂O₃) — Հաճախակի տրվող հարցեր

    Հարց 1. Ի՞նչ է սափրեյ բուլը։
    Ա. Ալյումինի օքսիդի (Al₂O₃) աճեցված միաբյուրեղ: Այն վերին հոսանքի «ձուլակտոր» է, որն օգտագործվում է շափյուղայի վեֆլերների, օպտիկական պատուհանների և մաշվածության դիմացկուն բաղադրիչների պատրաստման համար:

    Հարց 2. Ինչպե՞ս է բուլը կապված վաֆլիների կամ պատուհանների հետ։
    Ա. Բուլը կողմնորոշվում է → կտրատվում → հղկվում → հղկվում է՝ էպի-դասի վաֆլիներ կամ օպտիկական/մեխանիկական մասեր ստանալու համար: Աղբյուրի բուլի միատարրությունը ուժեղ ազդեցություն ունի ներքևի հոսանքի ելքի վրա:

    Հարց 3. Ի՞նչ աճեցման մեթոդներ են հասանելի և ինչո՞վ են դրանք տարբերվում:
    A: Կենտուկի (Կիրոպուլոս)ևՀԵՄմեծ բերքատվություն,ցածր սթրեսայինբուլեր՝ նախընտրելի է էպիտաքսիայի և բարձրակարգ օպտիկայի համար։ՉԶ (Չոխրալսկի)առաջարկում է գերազանցկողմնորոշման կառավարումև խմբաքանակից խմբաքանակ համապատասխանություն։Վերնոյ (բոցի միաձուլում) is ծախսարդյունավետընդհանուր օպտիկայի և թանկարժեք քարերի նախաձևերի համար։

    Հ4. Ի՞նչ կողմնորոշումներ եք մատակարարում: Ի՞նչ ճշգրտություն է բնորոշ:
    A: c-հարթություն (0001), a-հարթություն (11-20), r-հարթություն (1-102), m-հարթություն (10-10)և սովորույթներ։ Կողմնորոշման ճշգրտությունը սովորաբար≤ ±0.1°Ստուգված է Laue/XRD-ի կողմից (ավելի ամուր՝ պահանջով):


  • Նախորդը՝
  • Հաջորդը՝

  • Օպտիկական կարգի բյուրեղներ՝ պատասխանատու ներքին թափոնների կառավարմամբ

    Մեր բոլոր սափրեյֆե գնդիկները արտադրվում ենօպտիկական աստիճան, ապահովելով բարձր թափանցելիություն, ամուր միատարրություն և ցածր ներառում/պղպջակների և դիսլոկացիաների խտություն պահանջկոտ օպտիկայի և էլեկտրոնիկայի համար: Մենք վերահսկում ենք բյուրեղների կողմնորոշումը և կրկնակի բեկումը սկզբնականից մինչև բյուրեղ՝ ապահովելով խմբաքանակի լիարժեք հետևողականություն և համապատասխանություն բոլոր խմբաքանակներում: Չափերը, կողմնորոշումները (c-, a-, r-հարթություն) և հանդուրժողականությունները կարող են հարմարեցվել ձեր կտրման/փայլեցման կարիքներին համապատասխան:
    Կարևոր է նշել, որ ցանկացած նյութ, որը չի համապատասխանում պահանջներին,ամբողջությամբ մշակվում է տեղումփակ ցիկլի աշխատանքային հոսքի միջոցով՝ տեսակավորված, վերամշակված և պատասխանատու կերպով հեռացված, որպեսզի դուք ստանաք հուսալի որակ՝ առանց մշակման կամ համապատասխանության բեռի: Այս մոտեցումը նվազեցնում է ռիսկերը, կրճատում է պատրաստման ժամկետները և աջակցում է ձեր կայուն զարգացման նպատակներին:

    Ձուլակտորի քաշի գոտի (կգ) 2 դյույմ 4 դյույմ 6 դյույմ 8 դյույմ 12 դյույմ Նշումներ
    10–30 Հարմար Հարմար Սահմանափակ/հնարավոր Ոչ տիպիկ Չի օգտագործվել Փոքր ձևաչափի կտրատում; 6 դյույմը կախված է օգտագործելի տրամագծից/երկարությունից։
    30–80 Հարմար Հարմար Հարմար Սահմանափակ/հնարավոր Ոչ տիպիկ Լայն կիրառություն; երբեմն-երբեմն՝ 8 դյույմանոց փորձնական հողամասեր։
    80–150 Հարմար Հարմար Հարմար Հարմար Ոչ տիպիկ Լավ հավասարակշռություն 6–8 դյույմ արտադրության համար։
    150–250 Հարմար Հարմար Հարմար Հարմար Սահմանափակ/Հետազոտություն և զարգացում Աջակցում է սկզբնական 12 դյույմանոց փորձարկումներին խիստ տեխնիկական բնութագրերով։
    250–300 Հարմար Հարմար Հարմար Հարմար Սահմանափակ/խիստ սահմանված Բարձր ծավալի 8 դյույմ; ընտրովի 12 դյույմ հոսքագծեր։
    >300 Հարմար Հարմար Հարմար Հարմար Հարմար Սահմանային մասշտաբի; 12 դյույմ հնարավոր է խիստ միատարրության/արտադրողականության վերահսկմամբ։

     

    ձուլակտոր

    Գրեք ձեր հաղորդագրությունը այստեղ և ուղարկեք այն մեզ