8 դյույմանոց SiC արտադրական կարգի վաֆլի 4H-N SiC հիմք
Հետևյալ աղյուսակը ցույց է տալիս մեր 8 դյույմանոց SiC վաֆլիների տեխնիկական բնութագրերը.
| 8 դյույմանոց N-տիպի SiC DSP-ի տեխնիկական բնութագրերը | |||||
| Համար | Ապրանք | Միավոր | Արտադրություն | Հետազոտություն | Մանեկեն |
| 1: պարամետրեր | |||||
| 1.1 | բազմատեսակ | -- | 4H | 4H | 4H |
| 1.2 | մակերեսի կողմնորոշում | ° | <11-20>4±0.5 | <11-20>4±0.5 | <11-20>4±0.5 |
| 2: Էլեկտրական պարամետր | |||||
| 2.1 | դոպանտ | -- | n-տիպի ազոտ | n-տիպի ազոտ | n-տիպի ազոտ |
| 2.2 | դիմադրություն | օհմ · սմ | 0.015~0.025 | 0.01~0.03 | NA |
| 3: Մեխանիկական պարամետր | |||||
| 3.1 | տրամագիծ | mm | 200±0.2 | 200±0.2 | 200±0.2 |
| 3.2 | հաստություն | մկմ | 500±25 | 500±25 | 500±25 |
| 3.3 | Խորշային կողմնորոշում | ° | [1- 100]±5 | [1- 100]±5 | [1- 100]±5 |
| 3.4 | Խորության խորություն | mm | 1~1.5 | 1~1.5 | 1~1.5 |
| 3.5 | Վարկային արժեք | մկմ | ≤5 (10 մմ * 10 մմ) | ≤5 (10 մմ * 10 մմ) | ≤10 (10 մմ * 10 մմ) |
| 3.6 | TTV | մկմ | ≤10 | ≤10 | ≤15 |
| 3.7 | Աղեղ | մկմ | -25~25 | -45~45 | -65~65 |
| 3.8 | Warp | մկմ | ≤30 | ≤50 | ≤70 |
| 3.9 | ԱՖՄ | nm | Ra≤0.2 | Ra≤0.2 | Ra≤0.2 |
| 4: Կառուցվածք | |||||
| 4.1 | միկրոխողովակների խտությունը | ea/cm2 | ≤2 | ≤10 | ≤50 |
| 4.2 | մետաղի պարունակություն | ատոմներ/սմ2 | ≤1E11 | ≤1E11 | NA |
| 4.3 | TSD | ea/cm2 | ≤500 | ≤1000 | NA |
| 4.4 | ԲԴՀ | ea/cm2 | ≤2000 | ≤5000 | NA |
| 4.5 | TED | ea/cm2 | ≤7000 | ≤10000 | NA |
| 5. Առջևի որակը | |||||
| 5.1 | առջևի | -- | Si | Si | Si |
| 5.2 | մակերեսի ավարտ | -- | Si-face CMP | Si-face CMP | Si-face CMP |
| 5.3 | մասնիկ | թեյ/վաֆլի | ≤100 (չափսը՝ ≥0.3 մկմ) | NA | NA |
| 5.4 | քերծել | թեյ/վաֆլի | ≤5, ընդհանուր երկարություն ≤200 մմ | NA | NA |
| 5.5 | Եզր չիպեր/փոսիկներ/ճաքեր/բծեր/աղտոտում | -- | Ոչ մեկը | Ոչ մեկը | NA |
| 5.6 | Պոլիտիպային տարածքներ | -- | Ոչ մեկը | Տարածք ≤10% | Տարածք ≤30% |
| 5.7 | առջևի նշագրում | -- | Ոչ մեկը | Ոչ մեկը | Ոչ մեկը |
| 6: Հետևի որակը | |||||
| 6.1 | հետևի ավարտ | -- | C-face MP | C-face MP | C-face MP |
| 6.2 | քերծել | mm | NA | NA | NA |
| 6.3 | Եզրերի հետևի թերություններ չիպեր/փոսիկներ | -- | Ոչ մեկը | Ոչ մեկը | NA |
| 6.4 | մեջքի կոպտություն | nm | Ra≤5 | Ra≤5 | Ra≤5 |
| 6.5 | Հետևի նշում | -- | Խազ | Խազ | Խազ |
| 7: եզր | |||||
| 7.1 | եզր | -- | Շեղում | Շեղում | Շեղում |
| 8: Փաթեթ | |||||
| 8.1 | փաթեթավորում | -- | EPI-պատրաստ է վակուումով փաթեթավորում | EPI-պատրաստ է վակուումով փաթեթավորում | EPI-պատրաստ է վակուումով փաթեթավորում |
| 8.2 | փաթեթավորում | -- | Բազմաթիթեղ կասետային փաթեթավորում | Բազմաթիթեղ կասետային փաթեթավորում | Բազմաթիթեղ կասետային փաթեթավորում |
Մանրամասն դիագրամ
Գրեք ձեր հաղորդագրությունը այստեղ և ուղարկեք այն մեզ