4 դյույմ բարձր մաքրության Al2O3 99.999% շափյուղայի հիմքի վաֆլի Dia101.6×0.65 մմտ՝ առաջնային հարթ երկարությամբ

Ապրանք

4 դյույմանոց C-հարթության (0001) 650 մկմ շափյուղային վաֆլիներ

Բյուրեղային նյութեր

99,999%, բարձր մաքրության, մոնոբյուրեղային Al2O3

Դասարան

Պրեմիում, EPI-Ready

Մակերեսի կողմնորոշում

C-հարթություն (0001)

C-հարթության թեքության անկյունը M-առանցքի նկատմամբ՝ 0.2 +/- 0.1°

Տրամագիծ

100.0 մմ +/- 0.1 մմ

Հաստություն

650 մկմ +/- 25 մկմ

Հիմնական հարթ կողմնորոշում

A-հարթություն (11-20) +/- 0.2°

Հիմնական հարթ երկարություն

30.0 մմ +/- 1.0 մմ

Միակողմանի փայլեցված

Առջևի մակերես

Էպի-հղկված, Ra < 0.2 նմ (AFM-ով)

(ՍՍՊ)

Հետևի մակերես

Մանրացված աղացած, Ra = 0.8 մկմ-ից մինչև 1.2 մկմ

Երկկողմանի փայլեցված

Առջևի մակերես

Էպի-հղկված, Ra < 0.2 նմ (AFM-ով)

(DSP)

Հետևի մակերես

Էպի-հղկված, Ra < 0.2 նմ (AFM-ով)

TTV

< 20 մկմ

ԽԵՂ

< 20 մկմ

WARP

< 20 մկմ

Մաքրում / Փաթեթավորում

100-րդ դասի մաքուր սենյակների մաքրում և վակուումային փաթեթավորում,

25 հատ մեկ կասետային փաթեթավորման մեջ կամ մեկ կտոր փաթեթավորման մեջ։