3 դյույմ բարձր մաքրության (չդոպավորված) սիլիցիումի կարբիդային թիթեղներից կիսամեկուսիչ Sic հիմքեր (HPSl)
Հատկություններ
1. Ֆիզիկական և կառուցվածքային հատկություններ
● Նյութի տեսակը՝ Բարձր մաքրության (չդոպավորված) սիլիցիումի կարբիդ (SiC)
● Տրամագիծ՝ 3 դյույմ (76.2 մմ)
● Հաստություն՝ 0.33-0.5 մմ, կարող է հարմարեցվել կիրառման պահանջներին համապատասխան։
● Բյուրեղային կառուցվածք՝ 4H-SiC պոլիտիպ՝ վեցանկյուն ցանցով, որը հայտնի է բարձր էլեկտրոնային շարժունակությամբ և ջերմային կայունությամբ։
● Կողմնորոշում:
oՍտանդարտ՝ [0001] (C-հարթություն), հարմար է լայն շրջանակի կիրառությունների համար։
Լրացուցիչ. առանցքից դուրս (4° կամ 8° թեքություն)՝ սարքի շերտերի էպիտաքսիալ աճի բարելավման համար։
● Հարթություն. Ընդհանուր հաստության տատանում (TTV) ● Մակերեսի որակ.
oՓայլեցված է oՑածր արատների խտությամբ (<10/սմ² միկրոխողովակի խտություն): 2. Էլեկտրական հատկություններ ●Դիմադրություն՝ >109^99 Ω·սմ, պահպանվում է կանխամտածված խառնուրդների վերացման միջոցով:
● Դիէլեկտրիկ ամրություն. Բարձր լարման դիմացկունություն՝ նվազագույն դիէլեկտրիկ կորուստներով, իդեալական է բարձր հզորության կիրառությունների համար։
● Ջերմահաղորդականություն՝ 3.5-4.9 Վտ/սմ·Կ, որը հնարավորություն է տալիս արդյունավետ ջերմափոխանակել բարձր արդյունավետության սարքերում։
3. Ջերմային և մեխանիկական հատկություններ
● Լայն արգելակային գոտի՝ 3.26 էՎ, որը թույլ է տալիս աշխատել բարձր լարման, բարձր ջերմաստիճանի և բարձր ճառագայթման պայմաններում։
●Կարծրություն՝ Մոհսի 9-րդ սանդղակ, որը ապահովում է մեխանիկական մաշվածության դեմ կայունություն մշակման ընթացքում։
● Ջերմային ընդարձակման գործակից՝ 4.2×10−6/K4.2 \times 10^{-6}/\text{K}4.2×10−6/K, ապահովելով չափային կայունություն ջերմաստիճանի տատանումների դեպքում։
Պարամետր | Արտադրության աստիճան | Հետազոտական աստիճան | Կեղծ գնահատական | Միավոր |
Դասարան | Արտադրության աստիճան | Հետազոտական աստիճան | Կեղծ գնահատական | |
Տրամագիծ | 76.2 ± 0.5 | 76.2 ± 0.5 | 76.2 ± 0.5 | mm |
Հաստություն | 500 ± 25 | 500 ± 25 | 500 ± 25 | մկմ |
Վաֆլիի կողմնորոշում | Առանցքի վրա՝ <0001> ± 0.5° | Առանցքի վրա՝ <0001> ± 2.0° | Առանցքի վրա՝ <0001> ± 2.0° | աստիճան |
Միկրոխողովակի խտությունը (MPD) | ≤ 1 | ≤ 5 | ≤ 10 | սմ−2^-2−2 |
Էլեկտրական դիմադրություն | ≥ 1E10 | ≥ 1E5 | ≥ 1E5 | Ω·սմ |
Դոպանտ | Չդոպված | Չդոպված | Չդոպված | |
Հիմնական հարթ կողմնորոշում | {1-100} ± 5.0° | {1-100} ± 5.0° | {1-100} ± 5.0° | աստիճան |
Հիմնական հարթ երկարություն | 32.5 ± 3.0 | 32.5 ± 3.0 | 32.5 ± 3.0 | mm |
Երկրորդական հարթ երկարություն | 18.0 ± 2.0 | 18.0 ± 2.0 | 18.0 ± 2.0 | mm |
Երկրորդական հարթ կողմնորոշում | 90° անկյուն դեպի ձախ՝ առաջնային հարթ անկյունից ± 5.0° | 90° անկյուն դեպի ձախ՝ առաջնային հարթ անկյունից ± 5.0° | 90° անկյուն դեպի ձախ՝ առաջնային հարթ անկյունից ± 5.0° | աստիճան |
Եզրային բացառություն | 3 | 3 | 3 | mm |
LTV/TTV/Աղեղ/Կորացում | 3 / 10 / ±30 / 40 | 3 / 10 / ±30 / 40 | 5 / 15 / ±40 / 45 | մկմ |
Մակերեսի կոպտություն | Si-մակերես՝ CMP, C-մակերես՝ փայլեցված | Si-մակերես՝ CMP, C-մակերես՝ փայլեցված | Si-մակերես՝ CMP, C-մակերես՝ փայլեցված | |
Ճաքեր (բարձր ինտենսիվության լույս) | Ոչ մեկը | Ոչ մեկը | Ոչ մեկը | |
Վեցանկյուն թիթեղներ (բարձր ինտենսիվության լույս) | Ոչ մեկը | Ոչ մեկը | Կուտակային մակերես 10% | % |
Պոլիտիպային տարածքներ (բարձր ինտենսիվության լույս) | Կուտակային մակերես 5% | Կուտակային մակերես 20% | Կուտակային մակերես 30% | % |
Քերծվածքներ (բարձր ինտենսիվության լույս) | ≤ 5 քերծվածք, ընդհանուր երկարություն ≤ 150 | ≤ 10 քերծվածք, ընդհանուր երկարություն ≤ 200 | ≤ 10 քերծվածք, ընդհանուր երկարություն ≤ 200 | mm |
Եզրերի կտրում | Ոչ մեկը ≥ 0.5 մմ լայնություն/խորություն | 2 թույլատրվում է ≤ 1 մմ լայնություն/խորություն | 5 թույլատրելի ≤ 5 մմ լայնություն/խորություն | mm |
Մակերեսային աղտոտում | Ոչ մեկը | Ոչ մեկը | Ոչ մեկը |
Դիմումներ
1. Հզոր էլեկտրոնիկա
HPSI SiC հիմքերի լայն գոտիական բացը և բարձր ջերմահաղորդականությունը դրանք իդեալական են դարձնում ծայրահեղ պայմաններում աշխատող սարքերի համար, ինչպիսիք են՝
● Բարձր լարման սարքեր. ներառյալ MOSFET-ներ, IGBT-ներ և Շոտկիի արգելապատնեշային դիոդներ (SBD)՝ հզորության արդյունավետ փոխակերպման համար։
● Վերականգնվող էներգիայի համակարգեր. ինչպիսիք են արևային ինվերտորները և քամու տուրբինների կարգավորիչները։
● Էլեկտրական տրանսպորտային միջոցներ (ԷՄ). Օգտագործվում են ինվերտորներում, լիցքավորիչներում և շարժիչային համակարգերում՝ արդյունավետությունը բարելավելու և չափերը կրճատելու համար։
2. Ռադիոհաճախականության և միկրոալիքային կիրառություններ
HPSI թիթեղների բարձր դիմադրությունը և ցածր դիէլեկտրիկ կորուստները կարևոր են ռադիոհաճախականության (RF) և միկրոալիքային համակարգերի համար, ներառյալ՝
● Հեռահաղորդակցության ենթակառուցվածքներ. 5G ցանցերի և արբանյակային կապի բազային կայաններ։
● Ավիատիեզերք և պաշտպանություն. Ռադարային համակարգեր, փուլային մատրիցային անտենաներ և ավիոնիկայի բաղադրիչներ։
3. Օպտոէլեկտրոնիկա
4H-SiC-ի թափանցիկությունը և լայն գոտիական բացը հնարավորություն են տալիս այն օգտագործել օպտոէլեկտրոնային սարքերում, ինչպիսիք են՝
●Ուլտրամանուշակագույն լուսադետեկտորներ. Շրջակա միջավայրի մոնիթորինգի և բժշկական ախտորոշման համար։
● Բարձր հզորության LED-ներ. Աջակցում են պինդ վիճակի լուսավորության համակարգերին։
● Լազերային դիոդներ. Արդյունաբերական և բժշկական կիրառությունների համար։
4. Հետազոտություն և զարգացում
HPSI SiC հիմքերը լայնորեն օգտագործվում են ակադեմիական և արդյունաբերական հետազոտությունների և զարգացման լաբորատորիաներում՝ առաջադեմ նյութերի հատկությունների և սարքերի արտադրության ուսումնասիրության համար, ներառյալ՝
●Էպիտաքսիալ շերտի աճ. ուսումնասիրություններ թերությունների նվազեցման և շերտերի օպտիմալացման վերաբերյալ։
●Կրողների շարժունակության ուսումնասիրություններ. բարձր մաքրության նյութերում էլեկտրոնների և անցքերի տեղափոխման ուսումնասիրություն։
●Նախատիպերի ստեղծում. Նոր սարքերի և սխեմաների նախնական մշակում։
Առավելություններ
Գերազանց որակ:
Բարձր մաքրությունը և ցածր արատների խտությունը հուսալի հարթակ են ապահովում առաջադեմ կիրառությունների համար։
Ջերմային կայունություն՝
Գերազանց ջերմության ցրման հատկությունները թույլ են տալիս սարքերին արդյունավետորեն աշխատել բարձր հզորության և ջերմաստիճանի պայմաններում:
Լայն համատեղելիություն.
Հասանելի կողմնորոշումները և հաստության հատուկ տարբերակները ապահովում են հարմարվողականություն տարբեր սարքի պահանջներին։
Երկարակեցություն:
Բացառիկ կարծրությունը և կառուցվածքային կայունությունը նվազագույնի են հասցնում մաշվածությունն ու դեֆորմացիան մշակման և շահագործման ընթացքում։
Բազմակողմանիություն։
Հարմար է արդյունաբերության լայն շրջանակի համար՝ վերականգնվող էներգիայից մինչև ավիատիեզերական արդյունաբերություն և հեռահաղորդակցություն։
Եզրակացություն
3 դյույմանոց բարձր մաքրության կիսամեկուսիչ սիլիցիումի կարբիդային վաֆլը ներկայացնում է բարձր հզորության, բարձր հաճախականության և օպտոէլեկտրոնային սարքերի համար նախատեսված հիմքերի տեխնոլոգիայի գագաթնակետը: Դրա գերազանց ջերմային, էլեկտրական և մեխանիկական հատկությունների համադրությունը ապահովում է հուսալի աշխատանք մարտահրավերներով լի միջավայրերում: Հզոր էլեկտրոնիկայից և ռադիոհաճախականության համակարգերից մինչև օպտոէլեկտրոնիկա և առաջադեմ հետազոտություններ ու զարգացումներ, այս HPSI հիմքերը հիմք են հանդիսանում վաղվա նորարարությունների համար:
Լրացուցիչ տեղեկությունների կամ պատվեր տալու համար, խնդրում ենք կապվել մեզ հետ։ Մեր տեխնիկական թիմը պատրաստ է տրամադրել խորհրդատվություն և անհատականացման տարբերակներ՝ ձեր կարիքներին համապատասխան։
Մանրամասն դիագրամ



