Վերնագիր՝ Ի՞նչ է FOUP-ը չիպերի արտադրության մեջ։

Բովանդակության աղյուսակ

1. FOUP-ի ընդհանուր տեսքը և հիմնական գործառույթները

2. FOUP-ի կառուցվածքը և դիզայնի առանձնահատկությունները

3. FOUP-ի դասակարգման և կիրառման ուղեցույցներ

4. FOUP-ի գործողությունները և կարևորությունը կիսահաղորդչային արտադրությունում

5. Տեխնիկական մարտահրավերներ և ապագա զարգացման միտումներ

6. XKH-ի անհատականացված լուծումները և սպասարկման աջակցությունը

Կիսահաղորդիչների արտադրության գործընթացում, առջևի բացվող միասնական պատյանը (FOUP) կարևորագույն տարա է, որն օգտագործվում է վաֆլիները պաշտպանելու, տեղափոխելու և պահելու համար: Դրա ներքին մասը կարող է տեղավորել 25 հատ 300 մմ վաֆլի, իսկ դրա հիմնական բաղադրիչներն են առջևի բացվող տարան և բացման ու փակման համար նախատեսված դռան շրջանակը: FOUP-ը 12 դյույմանոց վաֆլի գործարանների ավտոմատացված փոխադրման համակարգի հիմնական կրողն է: Այն սովորաբար տեղափոխվում է փակ վիճակում և բացվում է միայն սարքավորումների բեռնման անցքին մոտենալիս, ինչը թույլ է տալիս վաֆլիները տեղափոխել սարքավորումների բեռնման/բեռնաթափման անցքի մեջ:

FOUP-ի դիզայնը հարմարեցված է միկրոմիջավայրի պահանջներին: Այն ունի անցքերով ետևի մասում վաֆլիների տեղադրման համար, իսկ կափարիչը հատուկ նախագծված է բացիչի սեղմակին համապատասխանելու համար: Վաֆլի մշակող ռոբոտները գործում են 1-ին դասի մաքուր օդային միջավայրում՝ ապահովելով, որ վաֆլիները չաղտոտվեն փոխանցման ընթացքում: Ավելին, FOUP-ը տեղափոխվում է մշակման գործիքների միջև ավտոմատացված նյութերի մշակման համակարգի (AMHS) միջոցով: Ժամանակակից վաֆլի գործարանները հիմնականում օգտագործում են վերգետնյա ռելսային համակարգեր տեղափոխման համար, մինչդեռ մի քանի ավելի հին գործարաններ կարող են օգտագործել գետնի վրա հիմնված ավտոմատացված ուղղորդվող տրանսպորտային միջոցներ (AGV):

FOUP-ը ոչ միայն հնարավորություն է տալիս ավտոմատացված վաֆլիների փոխանցման, այլև ծառայում է որպես պահեստավորման գործառույթ: Արտադրական բազմաթիվ քայլերի պատճառով վաֆլիների ամբողջ գործընթացն ավարտելու համար կարող են ամիսներ պահանջվել: Ամսական արտադրության մեծ ծավալների հետ մեկտեղ սա նշանակում է, որ գործարանի ներսում գտնվող տասնյակ հազարավոր վաֆլիներ ցանկացած պահի անընդհատ տեղափոխման կամ ժամանակավոր պահեստավորման մեջ են: Պահպանման ընթացքում FOUP-ները պարբերաբար մաքրվում են ազոտով՝ կանխելու համար աղտոտիչների շփումը վաֆլիների հետ՝ ապահովելով մաքուր և հուսալի արտադրական գործընթաց:

1. FOUP-ի գործառույթները և կարևորությունը

FOUP-ի հիմնական գործառույթը վաֆլիները պաշտպանելն է արտաքին ցնցումներից և աղտոտումից, մասնավորապես՝ փոխանցման ընթացքում արտադրողականության վրա ազդեցությունից խուսափելը: Այն արդյունավետորեն կանխում է խոնավությունը գազային մաքրման և տեղական մթնոլորտի վերահսկման (LAC) նման մեթոդների միջոցով՝ ապահովելով, որ վաֆլիները մնան անվտանգ վիճակում՝ հաջորդ արտադրական քայլին սպասելիս: Դրա կնքված և վերահսկվող համակարգը թույլ է տալիս մուտք գործել միայն անհրաժեշտ միացություններն ու տարրերը՝ զգալիորեն նվազեցնելով ցնդող օրգանական միացությունների, թթվածնի և խոնավության անբարենպաստ ազդեցությունը վաֆլիների վրա:

Քանի որ 25 վաֆլիով լիովին բեռնված FOUP-ը կարող է կշռել մինչև 9 կիլոգրամ, դրա տեղափոխումը պետք է հիմնված լինի ավտոմատացված նյութերի մշակման համակարգի (AMHS) վրա: Դա հեշտացնելու համար FOUP-ը նախագծված է միացման թիթեղների, քորոցների և անցքերի տարբեր համադրություններով և հագեցած է RFID էլեկտրոնային պիտակներով՝ հեշտ նույնականացման և դասակարգման համար: Այս ավտոմատացված մշակումը գրեթե չի պահանջում ձեռքով գործողություն, ինչը զգալիորեն նվազեցնում է սխալների մակարդակը և բարձրացնում արտադրական գործընթացի անվտանգությունն ու ճշգրտությունը:

2. FOUP-ի կառուցվածքը և դասակարգումը

FOUP-ի տիպիկ չափերը մոտավորապես 420 մմ լայնություն, 335 մմ խորություն և 335 մմ բարձրություն են: Դրա հիմնական կառուցվածքային բաղադրիչներն են՝ վերևի OHT (սնկային գլխիկ)՝ վերգետնյա բարձիչով տեղափոխման համար, առջևի դուռ՝ սարքավորումների վաֆլիներին մուտք գործելու համար, կողային բռնակներ, որոնք հաճախ գունային կոդավորմամբ են՝ տարբեր աղտոտվածության մակարդակ ունեցող գործընթացային տարածքները տարբերակելու համար, քարտային տարածք՝ հաղորդագրությունների քարտեր տեղադրելու համար, և ներքևի RFID պիտակ, որը ծառայում է որպես FOUP-ի եզակի նույնականացուցիչ՝ թույլ տալով գործիքներին և վերգետնյա բարձիչներին ճանաչել այն: Հիմքը նաև հագեցած է չորս նույնականացման և դիրքավորման անցքերով՝ գործիքների հետ համապատասխանեցնելու և գործընթացային տարածքները տարբերակելու համար:

Օգտագործման հիման վրա, FOUP-ները դասակարգվում են երեք տեսակի՝ PRD (արտադրության համար), ENG (ճարտարագիտական ​​​​վաֆլիների համար) և MON (մոնիտորային վաֆլիների համար): PRD FOUP-ները կարող են օգտագործվել արտադրանքի արտադրության համար, ENG տեսակները հարմար են հետազոտությունների և զարգացման կամ փորձերի համար, իսկ MON տեսակները նախատեսված են CMP և DIFF-ի նման քայլերի գործընթացների մոնիթորինգի համար: Կարևոր է նշել, որ PRD FOUP-ները կարող են օգտագործվել և՛ ENG, և՛ MON նպատակներով, իսկ ENG տեսակները կարող են օգտագործվել MON-ի համար, սակայն հակադարձ գործողությունը որակի հետ կապված ռիսկեր է պարունակում:

Ըստ աղտոտվածության մակարդակի դասակարգված՝ FOUP-ները կարելի է բաժանել FE FOUP-ի (առջևի գործընթաց, առանց մետաղի), BE FOUP-ի (հետևի գործընթաց, պարունակում է մետաղ) և մետաղական որոշակի գործընթացների համար մասնագիտացվածների, ինչպիսիք են NI FOUP-ը, CU FOUP-ը և CO FOUP-ը: Տարբեր գործընթացների FOUP-ները սովորաբար տարբերվում են կողային բռնակների կամ դռան վահանակների գույնով: Առջևի գործընթացներից ստացված FOUP-ները կարող են օգտագործվել հետևի գործընթացներում, բայց հետևի FOUP-ները երբեք չպետք է օգտագործվեն առջևի գործընթացներում, քանի որ դա կարող է աղտոտման ռիսկեր առաջացնել:

Որպես կիսահաղորդիչների արտադրության հիմնական կրող՝ FOUP-ը, բարձր ավտոմատացման և աղտոտվածության խիստ վերահսկողության միջոցով, ապահովում է վեֆլիների անվտանգությունն ու մաքրությունը արտադրական գործընթացի ընթացքում, դարձնելով այն անփոխարինելի ենթակառուցվածք ժամանակակից վեֆլի գործարաններում։

Եզրակացություն

XKH-ը հանձնառու է հաճախորդներին տրամադրել բարձրակարգ անհատականացված ճակատային բացվող միասնական պոդ (FOUP) լուծումներ՝ խստորեն հետևելով ձեր կոնկրետ գործընթացային պահանջներին և սարքավորումների ինտերֆեյսի սպեցիֆիկացիաներին: Օգտագործելով առաջադեմ նյութական տեխնոլոգիաները և ճշգրիտ արտադրական գործընթացները՝ մենք ապահովում ենք, որ FOUP-ի յուրաքանչյուր արտադրանք ապահովի բացառիկ հերմետիկություն, մաքրություն և մեխանիկական կայունություն: Մեր տեխնիկական թիմը տիրապետում է խորը արդյունաբերական փորձագիտության, որն առաջարկում է համապարփակ կյանքի ցիկլի աջակցություն՝ ընտրության խորհրդատվությունից և կառուցվածքային օպտիմալացումից մինչև մաքրում և սպասարկում՝ ապահովելով FOUP-ի և ձեր ավտոմատացված նյութերի մշակման համակարգի (AMHS), ինչպես նաև վերամշակման սարքավորումների միջև անխափան ինտեգրում և արդյունավետ համագործակցություն: Մենք մշտապես առաջնահերթություն ենք տալիս վեֆլերի անվտանգությանը և արտադրության բերքատվության բարձրացմանը՝ որպես մեր հիմնական նպատակներ: Նորարարական արտադրանքի և համապարփակ տեխնիկական ծառայությունների միջոցով մենք ապահովում ենք ամուր երաշխիք ձեր կիսահաղորդչային արտադրական գործընթացների համար, ի վերջո բարձրացնելով արտադրության արդյունավետությունը և արտադրանքի բերքատվությունը: